高精度自動ステージ（位置決めステージ）
高精度ステッピングモータステージ POSICONシリーズ

X軸

• 	PM40・80B series 【生産終了】

• 	PM80B HQ series 【生産終了】

• 	PM40・80B HS series<カバー付>

• 	PM30B series <カバー付> 【生産終了】

• 	PA180S series

• 	PA180S series <カバー付>

• 	PK series

• 	PG series

XY軸

• 	PM40・80B series 【生産終了】

• 	PM80B HQ series 【生産終了】

• 	PM40・80B HS series＜カバー付＞

• 	PA series

• 	PA180S series <カバー付>

• 	PK series

• 	PT series

• 	PG series

• 	PM40・80B series 【生産終了】

• 	PM80B HQ series 【生産終了】

• 	PA series

• 	PA180S series <カバー付>

• 	PK series

回転・スイベル

• 	PS series

• 	PZ series

高精度自動ステージ（位置決めステージ）
高精度ステッピングモータステージ SAFシリーズ

X軸

• 	SAFA series

• 	SAFG series

• 	SAFB series

• 	SAFK series

• 	SAFK-H series

XY軸

• 	SAFA series

• 	SAFG series

• 	SAFK series

Z軸

• 	SAFA series

• 	SAFG series

• 	SAFB series

• 	SAFK series

高精度自動ステージ（位置決めステージ）
高精度ステッピングモータステージ SF/SSシリーズ

X軸

• 	SF series

• 	SS series

高精度自動ステージ（位置決めステージ） カスタマイズ対応

• 	カスタマイズ対応

コントローラ

機種一覧

• 	CP-700

• 	CP-700D

• 	CP-700M

• 	CP-700/CP-700D Bluetooth通信ユニット CP-7WL

• 	CP-7RJ

• 	TUSB-0216ADMZ

• 	CA-800 ＜製造終了＞

ケーブル

ステージケーブル

• 	PSRD-20SN

• 	PSRX-20SN

• 	PSDA-20S

• 	PSDX-20S

ACサーボ・シャフトモーターステージケーブル

• 	PSAC-R30-YSP1

• 	PSAC-R30-YSP2

• 	PSAC-R30-YSE

• 	PSAC-R30X-YSL

• 	PSAC-10YCL

• 	PSSF-R20X-HPL

• 	PSSF-R20-HE

その他のケーブル

• 	PSDR-03S

• 	PSSC-10S

• 	STC2

• 	AD-100N

• 	AD-200F

• 	PSAD-18S

• 	PSUS-18S

• 	CA8-37P

• 	DC24V-20S

ドライバ

• 	CP-D7

• 	SGDS series

• 	TD-5D14C/TD-5M13-L

精密卓上型３軸ロボット

• 	精密卓上型3軸ロボット RAP3シリーズ 標準タイプ

• 	精密卓上型3軸ロボット RAP3シリーズ ACサーボモータ ステージ搭載タイプ

• 	精密卓上型4軸ロボット RAP4シリーズ カスタマイズ ロボットタイプ

3次元測定器

• 	ウエハ厚み測定 システム

• 	非接触厚み測定 システム

• 	E-Measure3Dシリーズ

専用計測システム

• 	EMS series

汎用計測システム

• 	Excel対応 汎用データ収集 ソフトウェア E-Measure2

制御ボックス（制御BOX）

• 	汎用制御ボックス　 GBシリーズ

• 	汎用制御ボックス デスクトップタイプ GBDシリーズ

• 	汎用制御ボックス カスタマイズタイプ

• 	モータドライバボックス DBシリーズ

• 	SAFK-H series

ソフトウェア

• 	ポジションコントローラソフトウェア M-Position

特注システム

• 	特注システム