高精度自動ステージ
高 精 度 自 動 シ ャ フ ト モ ー タ ス テ ー ジ
当社の多彩な商品群とカスタマイズにより、
お客様のご要望に対応させていただきます。
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SF series
繰返し位置決め精度 ±0.0005㎜以下
CADとPDFは『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括でのダウンロードが可能です。
シャフトモータを用いたダイレクトドライブ方式のリニアサーボステージです。非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。
- axis X 軸
-
guide
リニアスライドガイド
シャフトモータ - controller コントローラケーブル対応表
SF series X軸ステージ
＜ストローク50㎜～800㎜タイプ＞ 仕様表
仕様1 ＜ストローク 50㎜～300㎜＞
| 型式 | SF180S-50X25D | SF180S-100X25D | SF180S-200X25D | SF180S-300X25D |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | X軸 | |||
| 移動量 | 50㎜ | 100㎜ | 200㎜ | 300㎜ |
| テーブルサイズ | 180×180㎜ | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | シャフトモータ | |||
| モータ | ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ | |||
| 搭載センサ | リミットセンサ（CW/CCW）、原点近接センサ | |||
| 自重 | 9㎏ | 10㎏ | 12㎏ | 14㎏ |
| 主要材質／外観 | アルミ合金／黒アルマイト処理 / ケーブルベア付 | |||
| 分解能 | 0.1㎛（レニショー製リニアスケール搭載） | |
|---|---|---|
| 最大速度 | 200㎜/sec | |
| 耐荷重 | 10㎏ | 12㎏ |
| 位置決め精度 | 4㎛ | 5㎛ | 7㎛ | 8㎛ |
|---|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±0.5㎛ | |||
| バックラッシュ | 0 | |||
| ロストモーション | 0.5㎛ | |||
| 真直度（水平・垂直） | 3㎛ | 6㎛ | 8㎛ | |
| 平行度Ａ | 8㎛ | 12㎛ | 20㎛ | |
| 価格（税抜き） | お問い合わせ下さい |
|---|
仕様2 ＜ストローク 400㎜～800㎜＞
| 型式 | SF180S-400X25D | SF180S-500X25D | SF180S-800X25D | |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | X軸 | |||
| 移動量 | 400㎜ | 500㎜ | 800㎜ | |
| テーブルサイズ | 180×180㎜ | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | シャフトモータ | |||
| モータ | ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ | |||
| 搭載センサ | リミットセンサ（CW/CCW）、原点近接センサ | |||
| 自重 | 16㎏ | 18㎏ | 24㎏ | |
| 主要材質／外観 | アルミ合金／黒アルマイト処理 / ケーブルベア付 | |||
| 分解能 | 0.1㎛（レニショー製リニアスケール搭載） | ||
|---|---|---|---|
| 最大速度 | 200㎜/sec | ||
| 耐荷重 | 15㎏ | 15㎏ | 20㎏ |
| 位置決め精度 | 10㎛ | 12㎛ | 17㎛ | |
|---|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±0.5㎛ | |||
| バックラッシュ | 0 | |||
| ロストモーション | 0.5㎛ | |||
| 真直度（水平・垂直） | 10㎛ | 13㎛ | 20㎛ | |
| 平行度Ａ | 25㎛ | 25㎛ | 35㎛ | |
| 価格（税抜き） | お問い合わせ下さい |
|---|
SFシリーズ コネクタ接続
高精度シャフトモータステージ ＜SFシリーズ コネクタ＞
| ステージ側コネクタ | A | B |
|---|---|---|
| D-sub15pinメス端子 | D-sub9pinメス端子 |
高精度シャフトモータステージ ＜SFシリーズ 結線仕様 コネクタ A ＞
| ピンNo. | 結線仕様 |
|---|---|
| 1 | モータ（U相） |
| 2 | モータ（V相） |
| 3 | モータ（W相） |
| 4 | E |
| 5 | |
| 6 | GND2（PORG1電源入力） |
| 7 | |
| 8 | +24V（PORG1電源入力） |
| 9 | 原点近接（PORG1）センサ出力 |
| 10 | |
| 11 | CCWリミット（OT1）センサ出力 |
| 12 | CWリミット（OT2）センサ出力 |
| 13 | GND1（OT1、OT2電源入力） |
| 14 | |
| 15 | +24V（OT1、OT2電源入力） |
| フード | シールド |
高精度シャフトモータステージ ＜SFシリーズ 結線仕様 コネクタ B ＞
| ピンNo. | 結線仕様 |
|---|---|
| 1 | 0V（EPエンコーダ電源入力） |
| 2 | A+ 出力 |
| 3 | Z+ 出力 |
| 4 | B+ 出力 |
| 5 | +5V（EPエンコーダ電源入力） |
| 6 | A- 出力 |
| 7 | Z- 出力 |
| 8 | B- 出力 |
| 9 | シールド |
| フード | シールド |
SF/SSシリーズ コントローラ・ケーブル・コネクタ対応表
| 対応コントローラ ドライバ型式 |
日立産機システム製サーボパック（ADA3シリーズ） CP-700ユーザーコントローラ |
|
|---|---|---|
| ケーブル型式 | 動力・リミットセンサ用ケーブル PSSF-R20X-HPL |
エンコーダ用ケーブル PSSF-R20-HE |
| ステージ側 コネクタ型式 |
D-sub 15P | D-sub 9P |
| コントローラ・ドライバ側 コネクタ型式 |
切断処理 | 54599-1019 MOLEX |
