キーエンス社製 LJ-Xシリーズ対応測定システム
超 高 精 細 イ ン ラ イ ン プ ロ フ ァ イ ル 測 定 器 L J - X 8 0 0 0 シ リ ー ズ 対 応
COMSの高精度ポジコンシリーズと組み合わせて3D解析システムの構築が可能です。
COMSの高精度ポジコンシリーズと組み合わせて3D解析システムの構築が可能です。
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キーエンス社 LJ-Xシリーズと組み合わせたステージシステムです。キーエンス社 超高精細インラインプロファイル測定器 LJ-Xシリーズは1ライン（最大510ｍｍ幅）を3200ポイントもの超高精細にプロファイルできるラインプロファイルセンサです。COMSのステージシステムは、このLJ-Xシリーズと組み合わせて測定サンプルを移動させることにより3D画像としてLJ-Xシリーズに取り込む事ができます。また、コントローラに付属されたTOOLソフトを使用することでLJ-Xシリーズと同期して測定することができます。
ステージカスタムで多彩な測定方法に
柔軟に対応できます
-
センサを移動させて測定 -
測定ワークを1軸移動して測定する -
測定ワークを2軸移動して測定する -
コントローラからトリガ出力 -
エンコーダ出力で測定 -
PLCでイーサネット通信により測定
コントローラ標準付属のツールソフトで
簡単に測定システムの構築ができます。
標準付属のツールソフト CP-700Tool
G コードに近似したプログラムを簡単にコントローラ内部に16個保存できます。 プログラムはオプションのスイッチBOX や外部機器からの信号によりスタートでき、LJ-X8000へトリガ信号も出力できますので簡単に測定システムを構築できます。
システム構成例
XYステージシステム仕様表
| 型式 | EMS5NX-100XY-L | EMS5NX-200XY-L | EMS5NX-300XY-L |
|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||
| 移動量 | 100㎜×100㎜ | 200㎜×200㎜ | 300㎜×300㎜ |
| 送り方式 | 精密ボールねじ | ||
| 駆動用搭載モータ | 5相ステッピングモータ | ||
| 最小移動分解能 | 0.1㎛（40分割時） | 0.1㎛（100分割時） | |
| 繰返し位置決め精度 | ±1㎛ | ||
| 位置決め精度 | 18㎛（フルストローク時） | 20㎛（フルストローク時） | |
| バックラッシュ | 2㎛ | 1㎛ | |
| ロストモーション | 3㎛ | 5㎛ | |
| 真直度（水平・垂直） | 10㎛（フルストローク時） | 20㎛（フルストローク時） | |
| 積載可能重量 | 14㎏ | 40㎏ | |
| 試料台サイズ | 120×120㎜ | 210×210㎜ | 310×310㎜ |
| 外形寸法 | 370×390×347（H）㎜ | 455×445×436（H）㎜ | 660×655×557（H）㎜ |
| 重量 | 約15㎏ | 約25㎏ | 約72㎏ |
3D解析ソフト追加
3D解析ソフトウエア 3D Analysis Application（オプション）
LJ-X8000シリーズで取得した高さデータを解析アプリケーション3D Analysisで解析が可能です。3D Analysisでは最大4枚の高さ画像を連結でき、高さ画像を連結した状態でサンプルの高さ、幅、粗さが測定可能です。
4データ連結前
4データ連結後
解析画面
仕様
| 型式 | 3D Analysis Application |
|---|---|
| 対応OS | Windows11（日本語版） |
| 表示 | 形状の3D,2Dグラフ表示及び数値解析 |
機能
| 基本プロファイル | 高さ、幅、粗さ（Ra,Rz,RzJIS）、粗さ曲線、傾斜補正 |
|---|---|
| 3D表示で計測 | 座標値計測、3D高さ計測、最大最小値計測（矩形、円形領域計測） |
| 2D表示で計測 | 高さ測定（ノギス、２点間、２区間）、幅（ノギス、凸形状、凹形状） |
| データ補正 | 3点補正、6点補正、最小二乗法、高さ補正（1点指定、平均） |
| データ転送 | Excel用ファイルに保存で3D,2D、解析データを転送 |
| 入力ファイル | bmpファイル、emdファイル、ZIPファイル、SCANF64 |
| 出力ファイル | bmpファイル、ZIPファイル、SCANF64 |
特徴
LJ-Xで計測した画像を貼り合わせて1つの画像して高さ、幅などを計測することができます。