キーエンス社製 WI-5000シリーズ対応測定システム
白 色 干 渉 3 D 変 位 計 W I - 5 0 0 0 シ リ ー ズ 対 応
BS-WIシリーズ
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キーエンス製 WIシリーズと組み合わせた測定システムです。 キーエンス社の白色干渉3D変位計WIシリーズは最大10×10mmの測定エリアに対し、8万点の3次元形状を高精度に測定できます。COMSの測定システムは、このWIシリーズと組み合わせて更に広範囲を自動的に移動-測定しながらEXCELに測定データを自動収集することができます。
Excel対応 自動測定ソフト E-Measure2
マトリクス（格子状）に測定、または、Excelに登録した座標毎に測定するかを選択。自動で移動しながらWI-5000からの測定データを取得し、リアルタイムに Excel にデータ収集できます。
システム構成例
測定システムの搬入設置ならびにソフトウエアの初期設定、オペレーショントレーニングまで対応しますので導入後すぐにお使いいただけます。（WI-5000操作方法はキーエンスご担当者様対応となります）
VIMEOにて動画を配信しております。
XYステージシステム仕様表
| 型式 | EMS5NX-100XY-WI | EMS5NX-200XY-WI | EMS5NX-300XY-WI |
|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||
| 移動量 | 100㎜×100㎜ | 200㎜×200㎜ | 300㎜×300㎜ |
| 送り方式 | 精密ボールねじ | ||
| 駆動用搭載モータ | 5相ステッピングモータ | ||
| 最小移動分解能 | 0.1㎛（100分割時） | 0.1㎛（100分割時） | |
| 繰返し位置決め精度 | ±1㎛ | ||
| 位置決め精度 | 18㎛（フルストローク時） | 20㎛（フルストローク時） | |
| バックラッシュ | 2㎛ | 1㎛ | |
| ロストモーション | 3㎛ | 5㎛ | |
| 真直度（水平・垂直） | 10㎛（フルストローク時） | 20㎛（フルストローク時） | |
| 積載可能重量 | 14㎏ | 40㎏ | |
| 試料台サイズ | 120×120㎜ | 210×210㎜ | 310×310㎜ |
| 外形寸法 | 370×390×347（H）㎜ | 455×445×436（H）㎜ | 660×655×557（H）㎜ |
| 重量 | 約15㎏ | 約25㎏ | 約72㎏ |
3D解析ソフト追加
WI-5000シリーズで取得した高さデータを解析アプリケーション3D Analysisで解析が可能です。3D Analysisでは最大6×6枚の高さ画像を連結でき、高さ画像を連結した状態でサンプルの高さ、幅、粗さが測定可能です。
6×6画像連結前
6×6画像連結後
解析画面
E-Measure2WIに傾き追従機能を追加したE-Measure2WI-ATが誕生
1.概要
キーエンス製 白色干渉３D変位計 WI-5000シリーズのパターンサーチ機能を使ってマスター登録したサンプルと実際に置かれた測定サンプルとの傾きを算出しその角度に合わせて自動補正し測定を行う機能を追加しました。
2.詳細
パターンサーチ機能で角度を算出
取得した角度を基に移動
（等ピッチ計測（停止））
出力データについて
