3次元測定器
ウ ェ ハ 厚 み 測 定 シ ス テ ム
ウエハの厚みを非接触・高精度に測定可能です。
ウエハの厚みを非接触・高精度に測定可能です。
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ウェハ厚み測定システム
ウェハの厚み測定を非接触・高精度・簡便に行うことができるシステムです。
専用ソフトによる簡単な設定で高精度な位置決めと非接触レーザ変位センサ2台による、
ウェハの表面・裏面の変位測定、ExcelやCSVファイルへのデータ自動収集が行えます。
ウェハサイズや測定方法に合わせたカスタマイズ対応が可能です。
特長
ウェハにダメージをあたえない非接触測定
ウェハの表面・裏面をレーザ光により非接触で走査しますのでウェハにダメージを与えることがありません。
また、ウェハ設置面へのテフロンコーティング、ガイドピンのピーク材仕様等の汚染防止仕様が施されています。
＜ウェハ厚み測定システム 本体＞
ウェハ厚み測定専用アプリケーションソフト
ウェハの厚み測定に特化した専用ソフトによりウェハサイズや測定方法を選択することで簡単に測定を開始でき、測定データは自動でExcelシートやCSVファイルに収集されます。
Excel上で最大値、最小値、平均値、公差判定、TTV（参考値）、反り量測定やグラフ表示等が可能な結果判定用Excelシートを標準で装備していますが、お客様が測定箇所や結果計算をExcelで任意に作成することもできます。
- ①「測定パターン」選択： ポイント測定 / 領域測定 / カスタム測定
- ②「測定点数」選択： ポイント測定時（5点 / 9点 / 17点） 領域測定時（5㎜ / 10㎜）
- ③「ウェハサイズ/オリフラ有無」選択： ウェハサイズ（2 / 3 / 4 / 5 / 6 / 8 / 12インチ） オリフラ（あり/なし）
- ④ 測定イメージ表示
- ⑤ START
測定データはExcelまたはCSVファイルに出力されます
市販のレーザ変位センサから選択が可能
レーザ変位センサは市販のレーザ変位センサから最適なタイプを選定し搭載することができます。
測定対象ウェハの仕様、精度、使用環境、ご予算等に合わせたフレキシブルなシステム構成が可能です
カスタマイズ・オプション対応
ウェハサイズ、測定内容等に合わせてステージストローク変更やウェハ設置面のカスタマイズが可能です。
＜オプション サンプル台＞
また、安全カバーや除振台などのオプション装備も幅広く対応可能です。
＜オプションカバー 閉 → 開＞
事前の実機テスト
デモ機等によりお客様の実際のウェハや基準ワークで測定の可否や従来方法との比較を事前に確認していただくことが可能です。お気軽にお問合せ下さい。
ウェハ厚み測定システム
システム構成
ウェハ厚み測定システム仕様表
※ 『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括ダウンロードが可能です。
レーザ変位センサを２台使用することにより、ウェハを上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。
接触式厚み測定器では、測定できない（接触子を対象物に接触させたくない）半導体ウエハの測定に最適です。
自動ステージシステム部
| 型式 | WAP-100XY | WAP-200XY | WAP-300XY |
|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||
| 移動量 | 100×100㎜ | 200×200㎜ | 300×300㎜ |
| 測定可能ウェハサイズ | 2,3,4インチ | 2,3,4,5,6,8インチ | 2,3,4,5,6,8,12インチ |
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | ||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード5㎜ | ||
| モータ | 0.75A/相 5相ステッピングモータ | ||
| 移動分解能 | 0.5μm （分割数：1/20設定時） | ||
| 位置決め精度 | 15μm | 25μm | 30μm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | ||
| バックラッシュ | 1μm | ||
| ロストモーション | 5μm | ||
| 真直度（水平・垂直） | 10μm | ||
| 平行度Ａ | 15μm | 20μm | 20μm |
| 最大移動速度 | 30㎜/sec | ||
| 耐荷重 | 15kg | ||
| 自重 | 92kg | 97kg | 107kg |
レーザ変位センサ部
| 測定分解能 | 0.01μm*1 |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 0.01μm*1 |
| 測定基準距離 | 10㎜*1 |
| 測定範囲 | ±1㎜*1 |
| センサヘッド位置調整 | マイクロメータヘッド付手動ステージ |
*1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。
実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
コントローラ部
| 型式 | CP-700M |
|---|---|
| 制御軸数 | 2軸 |
| 最大駆動速度 | 4Mpps（高精度補間時：500kpps） |
| 最小駆動速度 | 1pps |
| 加減速時間 | 0～65,535msec |
| 分割数（CP-D7使用時） | 1～250分割 16段階切替 |
| インタフェイス | USB（ver1.1） |
| 入力電圧／消費電流 | DC21.6～26.4V（DC24V±10%）／0.5A |
| 最大消費電力 | 250VA（オプションACアダプタAD-100N使用時） |
| サイズ/自重 | 155×180×60（H）㎜ / 1300g |
ソフトウェア部
| 型式 | WAP |
|---|---|
| 対応機器（自動ステージ） | 当社自動ステージシステム、コントローラ |
| 対応機器（計測機器） | 汎用RS232C計測機器 RS232C通信規格に準拠したインタフェイスを持つ計測器 アスキーコード（文字列）の計測コマンドの送信により計測値を返信する計測器 |
| 計測方法 | ＜ポイント計測＞ ウェハサイズに合わせた任意の位置5点、9点、17点から選択して測定を行います。 データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、TV5の結果を表示します。 |
| ＜領域測定＞ ウェハサイズに合わせた格子状の位置5mmピッチ、10mmピッチから選択して測定を行います。 データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、TTV（参考値）、反りの結果を表示します。 |
|
| ＜カスタム測定＞ お客様にてExcelファイルで作成しました座標指示プログラム、及び測定結果を登録しまして測定を行います。 データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 |
対応するOS
こちらをご参照ください。
価格
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