キーエンス社製 CL-3000シリーズ対応測定システム
マ ル チ カ ラ ー レ ー ザ 同 軸 変 位 計 C L - 3 0 0 0 シ リ ー ズ 対 応
TAPシリーズ
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Excel対応 自動測定ソフト E-Measure2
キーエンス社CLシリーズと組み合わせた非接触厚み測定システムです。キーエンス社 マルチカラーレーザー同軸変位計 CLシリーズはマルチカラー共焦点方式により材質を選ばず高精度に測定することが出来るセンサです。COMSの厚み測定システムはこのCLシリーズと組み合わせることにより指定したXY座標に自動で移動してその座標と厚みデータをExcelに取り込むことにより面全体の厚みデータを把握することができます。
マトリクス（格子状）に測定、または、Excelに登録した座標毎に測定するかを選択。自動で移動しながらCL-3000からの測定データを取得し、リアルタイムに Excel にデータ収集できます。
測定システムの搬入設置ならびにソフトウエアの初期設定、オペレーショントレーニングまで対応しますので、導入後すぐにお使いいただけます。（CL-3000の操作方法はキーエンス社対応となります）
システム構成例
アプリケーション例
厚み測定以外にも様々な対象物の計測・解析を行えます。測定対象物に合わせて特注システムの製作も可能です。
-
3次元形状測定
使用機器
- 高精度3次元形状測定システムEMS5NX-3Dシリーズ(コムス)
- 同軸変位計:CL-S015(キーエンス)
機能
測定サンプル全面or指定範囲から格子状にデータを収集し、数値データの取得、3D解析ソフトを使用し形状解析が可能。
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ウエハ反り測定
使用機器
- 高精度3次元形状測定システムEMS5NX-3Dシリーズ(コムス)
- 同軸変位計:CL-P015(キーエンス)
機能
ウエハの全面、指定ラインを測定し、XY座標と共に数値データの取得、3D解析ソフトを使用し高低差のマッピング表示、そり形状の確認が可能
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サンプル高さ測定
使用機器
- 高精度形状測定システム EMS5NXシリーズ(コムス)
- 同軸変位計:CL-PT010(キーエンス)
機能
汎用データ収集ソフトウェアE-Measure2を使用し、サンプル全面、もしくは指定箇所の高さ測定値を取得しXY座標と共にExcelに測定値が出力可能
VIMEOにて動画を配信しております。
XYステージシステム仕様表
| 型式 | EMS5NX-2H-50XY | EMS5NX-2H-100XY | EMS5NX-2H-200XY | EMS5NX-2H-300XY |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | |||
| 移動量 | 50㎜×50㎜ | 100㎜×100㎜ | 200㎜×200㎜ | 300㎜×300㎜ |
| テーブルサイズ | 専用設計 | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード5㎜ | |||
| モータ | 0.75A/相 5相ステッピングモータ | |||
| 移動分解能 | 0.5㎛（1/20分割時） （分割数：1/20設定時） | |||
| 位置決め精度 | 10㎛ | 15㎛ | 25㎛ | 30㎛ |
| 繰返し位置決め精度 | ±1㎛ | |||
| バックラッシュ | 1㎛ | |||
| ロストモーション | 5㎛ | |||
| 真直度（水平・垂直） | 8㎛ | 10㎛ | 10㎛ | 10㎛ |
| 平行度Ａ | 15㎛ | 15㎛ | 20㎛ | 20㎛ |
| 最大移動速度 | 30㎜/sec | |||
| 耐荷重 | 15㎏ | |||
| 自重 | 約41㎏ | 約45㎏ | 約50㎏ | 約60㎏ |