精 密 卓 上 型 3 軸 ロ ボ ッ ト

精密卓上型3軸ロボット RAP3NX　ACサーボモータステージ搭載タイプ

精密卓上型3軸ロボットRAP3NXは、お客様のあらゆるご要望や仕様に合致したカスタマイズ対応が可能です。このACサーボモータステージ搭載タイプは、測定/加工 対象物を固定し、各種センサや加工ツールを高速駆動させたい要求に対応したステージシステムです。ガントリー（門型）方式の採用により、高速にXYZ軸を駆動させながら、高精度に位置ごとの測定データ収集や加工が行えます。

特長

ACサーボモータステージにより、センサヘッドやツールを高速・高精度XYZ移動

ガントリー（門型）方式により、装着したセンサやツールなどを高精度にXYZ軸駆動する事ができます。RAP3NX標準タイプでは装着した機器をXZ軸に駆動し、測定対象物や被加工品をY軸に駆動するのに対して、こちらのRAP3NX　ACサーボモータステージ搭載タイプでは装着した機器をXYZ軸方向に駆動しますので、測定/加工 対象物を移動する事ができない用途に最適です。

XYZ軸　最小移動分解能1μm

X軸においては、最高移動（1000mm/sec）かつ、高分解能（1μm）を実現しました。各軸のストローク、移動速度は以下のようになります。

X軸　ストローク　200mm、最高移動速度1000mm/sec
Y軸　ストローク　250mm、最高移動速度　500mm/sec
Z軸　ストローク　100mm、最高移動速度　250mm/sec

なお、ストローク、移動速度、移動分解能など、ご仕様にあわせカスタマイズが可能となります。

高速駆動/高精度トリガ機能

センサやツールを高速スキャンするＸ軸は、分解能1μmでありながら最大速度1000mm/secを実現しました。
また、Ｘ軸にリニアスケールを搭載することで正確な位置を、トリガ信号として取り出す事ができます。
これにより簡単・高精度に、位置に同期したセンサの測定データ収集などが可能になります。

セミクローズドループ制御

RAP3NX標準タイプでは、ステッピングモータを使用したオープンループ制御を行っています。
このオープンループ制御方式は、通常の使用においては問題ありませんが急峻な移動や高速駆動において脱調と呼ばれるモータの空回り現象が発生する場合があります。
これに対してACサーボモータステージ搭載タイプでは、セミクローズドループ制御方式にて、常にモータの回転数を監視するため、モータが空回りすることはなく、信頼性の高い位置決めが可能となります。