高精度自動ステージ
高 精 度 A C サ ー ボ モ ー タ ス テ ー ジ
当社の多彩な商品群とカスタマイズにより、
お客様のご要望に対応させていただきます。
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SAFA series
繰返し位置決め精度 ±0.001㎜
CADとPDFは『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括でのダウンロードが可能です。
リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。高い再現性を持つステージシステムにより大型・重量物の長距離・高速移動が高精度に行なえます。
- axis XY 軸
-
guide
リニアスライドガイド
精密ボールねじ - controller コントローラケーブル対応表
SAFA series XY軸ステージ
＜ストローク50㎜～400㎜タイプ＞ 仕様表
仕様
| 型式 | SAFA-50XYTI | SAFA-100XYTI | SAFA-200XYTI | SAFA-300XYTI | SAFA-400XYTI |
|---|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||||
| 移動量 | 50×50㎜ | 100×100㎜ | 200×200㎜ | 300×300㎜ | 400×400㎜ |
| テーブルサイズ | 180×180㎜ | ||||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | ||||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード10㎜ | ||||
| モータ | 200W ACサーボモータ（安川電機:Σ7相当品） | ||||
| 20～24bitシリアルエンコーダ搭載 | |||||
| 搭載センサ | リミットセンサ（CW/CCW）、原点近接センサ | ||||
| 自重 | 17㎏ | 18㎏ | 21㎏ | 24㎏ | 27㎏ |
| 主要材質／外観 | アルミ合金／黒アルマイト処理 | ||||
| 分解能 | 0.5㎛ （電子ギヤ比 1048576/20000時） |
|---|---|
| 最大加速度 | 0.26G |
| 最大速度 | 500㎜/sec |
| 耐荷重 | 40㎏ |
| 位置決め精度 | 5㎛ | 8㎛ | 12㎛ | 15㎛ | 25㎛ |
|---|---|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±1㎛ | ||||
| バックラッシュ | 1㎛ | ||||
| ロストモーション | 5㎛ | ||||
| 真直度（水平・垂直） | 3㎛ | 3㎛ | 5㎛ | 8㎛ | 10㎛ |
| 平行度Ａ | 5㎛ | 5㎛ | 10㎛ | 15㎛ | 25㎛ |
| 価格（税抜き） | ¥980,000 | ¥1,020,000 | ¥1,060,000 | ¥1,140,000 | ¥1,240,000 |
|---|
SAFシリーズ コネクタ接続
高精度ＡＣサーボモータ ドライバ直結仕様
| ステージ側コネクタ コネクタタイプ (安川電機械使用時) |
A | B | C |
|---|---|---|---|
エンコーダ用コネクタ(専用端子) |
動力用コネクタ(専用端子) |
リミットセンサ用コネクタ |
| ステージ | コネクタタイプ | ピンNo. | 結線仕様 | |
|---|---|---|---|---|
| SAFAシリーズ SAFGシリーズ SAFBシリーズ |
A | 1 | シールド | エンコーダ用信号線 |
| 2 | ||||
| 3 | PG電源/OV | |||
| 4 | PGシリアル信号出力(＋) | |||
| 5 | PGシリアル信号出力(－) | |||
| 6 | PG電源/＋5V | |||
| 7 | ||||
| 8 | ||||
| 9 | ||||
| B | 1 | E | ACサーボモータ動力線 | |
| 2 | 動力W相 | |||
| 3 | 動力V相 | |||
| 4 | 動力U相 | |||
| 5 | ||||
| 6 | ||||
| C | 1 | CW/CCWリミットセンサ電源GND | リミットセンサ信号線 | |
| 2 | CW/CCWリミットセンサ電源 ＋5～24V |
|||
| 3 | OT3センサ出力 | |||
| 4 | CCW(OT1)リミットセンサ出力 | |||
| 5 | CW(OT2)リミットセンサ出力 | |||
| 6 | 原点近接/OT3センサ電源 GND | |||
| 7 | 原点近接/OT3センサ電源 ＋5～24V |
|||
| 8 | ||||
| 9 | 原点近接センサ出力 | |||
SAFAシリーズ コントローラ・ケーブル・コネクタ対応表
| 対応コントローラ ドライバ型式 |
CP-700 ユーザーコントローラ |
リミットセンサ延長用 |
|---|---|---|
| ケーブル型式 | PSAC-10YCL | PSAC-R30X-YSL |
| ステージ側 コネクタ型式 |
D-sub 15P | D-sub 9P |
| コントローラ・ドライバ側 コネクタ型式 |
コントローラー側 MDRコネクタ 26極プラグ ドライバ側 MDRコネクタ 50極プラグ |
D-sub 15P |
