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高精度自動ステージ（位置決めステージ）
高精度ステッピングモータステージ POSICONシリーズ
| X軸 | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| PM80B HQseries【生産終了】 | ― |  |
|
| PM40・80B HS series <カバー付> | ― | |
― |
| PM30B series <カバー付>【生産終了】 | |
|
|
| PA180S series | |
|
|
| PA180S series <カバー付> | |
― | |
| PK series | |
|
|
| PG series | ― | |
|
| XY軸 | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| PM80B HQseries【生産終了】 | ― | |
|
| PM40・80B HS series <カバー付> | ― | |
― |
| PA series | |
|
|
| PA180S series <カバー付> | ― | ― | |
| PK series | |
|
|
| PT series | |
|
|
| PG series | ― | |
|
| Z軸 | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| PM80B HQseries【生産終了】 | ― | |
|
| PA series | |
|
|
| PA180S series <カバー付> | ― | ― | |
| PK series | |
|
|
| 回転・スイベル | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| PS series | |
|
― |
| PZ series | |
|
|
高精度ＡＣサーボモータステージ SAFシリーズ
| X軸 | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| SAFA series | |
|
|
| SAFG series | |
|
|
| SAFB series | |
|
|
| SAFK series | |
|
― |
| SAFK-H series | |
|
― |
| XY軸 | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| SAFA series | |
|
|
| SAFG series | |
|
|
| SAFK series | |
|
― |
| Z軸 | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| SAFA series | |
|
|
| SAFG series | |
|
|
| SAFB series | |
|
|
| SAFK series | |
|
― |
高精度シャフトモータステージ SF／SSシリーズ
| X軸 | CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
|
|---|---|---|---|
| SF series | |
|
― |
| SS series | |
|
― |
コントローラ
| CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
||
|---|---|---|---|
| CP-700 | |
― | ― |
| ドライバ内蔵型3軸コントローラ CP-700D | |
|
― |
| マイクロステップドライバ内蔵型3軸コントローラ CP-700M | |
|
― |
| ジョイスティックコントローラ CP-7RJ | |
|
― |
| CA-800 | |
― | ― |
ドライバ
| CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
||
|---|---|---|---|
| SGDS series | |
― | ― |
| TD-5D14C/TD-5M13-L | |
― | ― |
精密卓上型3軸ロボット
| CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
||
|---|---|---|---|
| RAP3 標準タイプ | |
― | |
| RAP3 ACサーボモータステージ搭載タイプ | |
― | ― |
| RAP4 カスタマイズロボットタイプ | |
― | ― |
3次元測定器
| CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
||
|---|---|---|---|
| ウェハ厚み測定システム WAPシリーズ | |
― | ― |
| 非接触厚み測定システム TAPシリーズ | |
― | ― |
| 高精度３次元形状測定システム E-Measure3dシリーズ（市販センサ使用タイプ） | |
― | ― |
専用計測システム
| CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
||
|---|---|---|---|
| 液晶視野角特性評価システム EMSシリーズ | |
― | ― |
汎用計測システム
| CAD | 3D CAD IGES、STEP形式 |
||
|---|---|---|---|
| 汎用データ収集ソフトウェア E-Measure2 | |
― | ― |
制御ボックス（制御BOX）
| CAD | 3D PDF |
||
|---|---|---|---|
| 汎用制御ボックス GBシリーズ | ― | |
― |
| 汎用制御ボックス GB-01 | ― | ― | |
| 汎用制御ボックス GB-05 | ― | ― | |
| 汎用制御ボックス GB-10 | ― | ― | |
| 汎用制御ボックス GB-40 | ― | ― | |
| 汎用制御ボックス GB-80 | ― | ― | |
| 汎用制御ボックス デスクトップタイプ GBDシリーズ | ― | |
― |
| モータドライバボックス DBシリーズ | ― | |
― |
| モータドライバボックス デスクトップタイプ DBDシリーズ | ― | |
― |
サンプルプログラム
| CAD | ソフトウエア | ||
|---|---|---|---|
| ポジションコントローラ CP-700 プログラム編集ソフト（ツールソフト） ＜CP-700_tool.zip 12MB＞ |
― | ― | |
| アナログコントローラ CA-800＜製造終了＞サンプルソフト ＜CA-800_sample.zip＞ |
― | ― | |
特注システム
| CAD | 3D PDF | ||
|---|---|---|---|
| 画像計測システム（ステージ） | ― | ― | |
| 計測加工システム（RAP） | ― | ― | |
| 高さ補正機能付３軸ロボット（RAP） | ― | ― | |
| 大型計測ステージ（ステージ） | ― | ― | |
| 大型計測測定システム（ステージ） | ― | ― | |
| 透過型３軸ロボット（ステージ） | ― | ― | |
| 倒立型顕微鏡用塗布装置（ステージ） | ― | ― | |
カタログ
| 計測システムのご紹介カタログ | |
― | ― |
