ホーム > 製品一覧 > 高精度自動ステージ（位置決めステージ） > 高精度シャフトモータステージ SF/SSシリーズ > 機種一覧 > SF series
高精度自動ステージ（位置決めステージ）
SF series
繰返し位置決め精度 ±0.0005ｍm以下
シャフトモータを用いたダイレクトドライブ方式のリニアサーボステージです。非接触駆動により速度安定性と高速移動が実現できます。
| axis | guide | controller |
|---|---|---|
| X 軸 | リニアスライドガイド シャフトモータ |
コントローラ ケーブル対応表 |
※ 『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括ダウンロードが可能です。詳しくはこちらをご覧下さい。
SF series X軸ステージ＜ストローク50mm～800mmタイプ＞ 仕様表
仕様1 ＜ストローク 50mm～300mm＞
| 型式 | SF180S-50X25D | SF180S-100X25D | SF180S-200X25D | SF180S-300X25D |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | X軸 | |||
| 移動量 | 50㎜ | 100㎜ | 200㎜ | 300㎜ |
| テーブルサイズ | 180×180㎜ | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | シャフトモータ | |||
| モータ | ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ | |||
| 搭載センサ | リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ | |||
| 自重 | 9kg | 10kg | 12kg | 14kg |
| 主要材質／外観 | アルミ合金／黒アルマイト処理／ケーブルベア付 | |||
| 分解能 | 0.1μm（レニショー製リニアスケール搭載） | |
|---|---|---|
| 最大速度 | 200㎜/sec | |
| 耐荷重 | 10kg | 12kg |
| 位置決め精度 | 4μm | 5μm | 7μm | 8μm |
|---|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±0.5μm | |||
| バックラッシュ | 0 | |||
| ロストモーション | 0.5μm | |||
| 真直度（水平・垂直） | 3μm | 6μm | 8μm | |
| 平行度Ａ | 8μm | 12μm | 20μm | |
| 価格（税抜き） | お問い合わせ下さい |
|---|
仕様2 ＜ストローク 400mm～800mm＞
| 型式 | SF180S-400X25D | SF180S-500X25D | SF180S-800X25D | |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | X軸 | |||
| 移動量 | 400㎜ | 500㎜ | 800㎜ | |
| テーブルサイズ | 180×180㎜ | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | シャフトモータ | |||
| モータ | ジイエムシーヒルストン社製シャフトモータ | |||
| 搭載センサ | リミット（CW/CCW）センサ、原点近接センサ | |||
| 自重 | 16kg | 18kg | 24kg | |
| 主要材質／外観 | アルミ合金／黒アルマイト処理／ケーブルベア付 | |||
| 分解能 | 0.1μm（レニショー製リニアスケール搭載） | |||||
|---|---|---|---|---|---|---|
| 最大速度 | 200㎜/sec | |||||
| 耐荷重 | 15kg | 15kg | 20kg | |||
| 位置決め精度 | 10μm | 12μm | 17μm |
|---|---|---|---|
| 繰返し位置決め精度 | ±0.5μm | ||
| バックラッシュ | 0μm | ||
| ロストモーション | 0.5μm | ||
| 真直度（水平・垂直） | 10μm | 13μm | 20μm |
| 平行度Ａ | 25μm | 25μm | 35μm |
| 価格（税抜き） | お問い合わせ下さい |
|---|
SF/SSシリーズ コネクタ接続
高精度シャフトモータステージ ＜SF/SSシリーズ コネクタ＞
| ステージ側コネクタ | A | B |
|---|---|---|
| D-sub15pinメス端子 | D-sub9pinメス端子 |
高精度シャフトモータステージ ＜SF/SSシリーズ 結線仕様 コネクタ A ＞
| ピンNO | 結線仕様 |
|---|---|
| 1 | モータ（U相） |
| 2 | モータ（V相） |
| 3 | モータ（W相） |
| 4 | E |
| 5 | - |
| 6 | GND2（PORG1電源入力) |
| 7 | - |
| 8 | +24V（PORG1電源入力) |
| 9 | 原点近接（PORG1）センサ出力 |
| 10 | - |
| 11 | CCWリミット（OT1)センサ出力 |
| 12 | CWリミット（OT2)センサ出力 |
| 13 | GND1（OT1、OT2電源入力) |
| 14 | - |
| 15 | +24V（OT1、OT2電源入力) |
| フード | シールド |
高精度シャフトモータステージ ＜SF/SSシリーズ 結線仕様 コネクタ B ＞
| ピンNO | 結線仕様 |
|---|---|
| 1 | 0V（EPエンコーダ電源入力） |
| 2 | A+ 出力 |
| 3 | Z+ 出力 |
| 4 | B+ 出力 |
| 5 | +5V（EPエンコーダ電源入力） |
| 6 | A- 出力 |
| 7 | Z- 出力 |
| 8 | B- 出力 |
| 9 | シールド |
| フード | シールド |
SF/SSシリーズ コントローラ・ケーブル・コネクタ対応表
| 対応コントローラ ドライバ型式 |
ケーブル型式 | ステージ側 コネクタ型式 |
コントローラ・ドライバ側 コネクタ型式 |
|---|---|---|---|
| 日立産機システム製 サーボパック (ADA3シリーズ）CP-700 ユーザーコントローラ |
動力・リミットセンサ用ケーブル PSSF-R20X-HPL |
D-sub 15P | 切断処理 |
| エンコーダ用ケーブル PSSF-R20-HE |
D-sub 9P | 54599-1019 MOLEX |
この機種に対応する製品は、こちらからチェックできます。
CP-700
動力・リミットセンサ用ケーブル
エンコーダ用ケーブルSF/SSシリーズ一覧
SFシリーズ X軸ステージ
SSシリーズ X軸ステージ
