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高精度自動ステージ（位置決めステージ）
高精度ステッピングモータステージ 選定ガイド
高精度ステッピングモータステージでは、精密研削ねじ・精密ボールねじ駆動によるＸステージ、ＸＹステージ、Ｚステージ、回転ステージ、スイベルステージを各種 取りそろえております。 ガイド方式・移動軸・ストローク・位置決め精度・耐荷重など、幅広いバリエーションの各機種より最適なステッピングモータステージを選択いただけます。
こちらの選定ガイドでは、それぞれの機種の特長を性能チャートにより表示しております。
ご仕様・ご用途に最適な機種を選択することができます。
高精度ステッピングモータステージ 主要項目比較
高精度ステッピングモータステージを選定する際に、主な選択指標となる項目で各シリーズを格付けしたものです。
ステージ選定の際の基準として活用下さい。詳細の仕様まとめてご確認できる「機能別一覧表」もご参照下さい。
* XYステージ、Zステージの各精度項目は、Xステージ単体の精度を記載したものです。（PT series を除く）
PM series
性能チャートグラフ
特長
一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペースタイプです。Ｕ字型アウターレール構造＋４条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PM40B-25X | 25mm | ±2μm | 3μm | 10kg |
| Xステージ | PM80B-50X | 50㎜ | 3μm | 20kg | |
| Xステージ | PM80B-100X | 100mm | 5μm | 20kg | |
| Xステージ | PM80B-200X | 200㎜ | 8μm | 20kg | |
| XYステージ | PM40B-25XY | 25×25㎜ | 3μm | 5kg | |
| XYステージ | PM80B-50XY | 50×50mm | 3μm | 15kg | |
| XYステージ | PM80B-100XY | 100×100㎜ | 5μm | 15kg | |
| XYステージ | PM80B-200XY | 200×200㎜ | 8μm | 15kg | |
| Zステージ | PM40B-25Z | 25㎜ | 3μm | 2kg | |
| Zステージ | PM80B-50Z | 50㎜ | 3μm | 3kg | |
| Zステージ | PM80B-100Z | 100mm | 5μm | 3kg | |
| Zステージ | PM80B-200Z | 200mm | 8μm | 3kg |
PA series
性能チャートグラフ
特長
リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。ねじリード5㎜の精密ボールねじにより大型・重量物の長距離・
高速移動が可能です。
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
（*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PA180S-50X | 50mm | ±1μm | 3μm | 50kg |
| Xステージ | PA180S-100X | 100mm | 3μm | ||
| Xステージ | PA180S-200X | 200mm | 5μm | ||
| Xステージ | PA180S-300X | 300mm | 8μm | ||
| Xステージ | PA180S-400X | 400mm | 10μm | ||
| Xステージ | PA180S-500X | 500mm | 13μm | ||
| Xステージ | PA180S-800X | 800mm | 20μm | ||
| XYステージ | PA180S-50XY | 50×50mm | 3μm | 40kg | |
| XYステージ | PA180S-100XY | 100×100mm | 3μm | ||
| XYステージ | PA180S-200XY | 200×200mm | 5μm | ||
| XYステージ | PA180S-300XY | 300×300mm | 8μm | ||
| XYステージ | PA180S-400XY | 400×400mm | 10μm | ||
| Zステージ | PA180S-50Z | 50mm | 3μm | 11kg | |
| Zステージ | PA180S-100Z | 100mm | 3μm | ||
| Zステージ | PA180S-200Z | 200mm | 5μm | ||
| Zステージ | PA180S-300Z | 300mm | 8μm |
PK series
性能チャートグラフ
特長
クロスローラとＶ溝によるガイドシステムを用いた高精度タイプです。高精度・高剛性・低摩擦によりあらゆる高精度用途に対応できます。
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
（*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | PK70C-20X | 20mm | ±0.5μm | 1μm | 10kg |
| Xステージ | PK100C-25X | 25mm | 20kg | ||
| Xステージ | PK120C-50X | 50mm | 2μm | 30kg | |
| Xステージ | PK180C-100X | 100mm | ±1μm | 40kg | |
| XYステージ | PK70C-20XY | 20×20mm | ±0.5μm | 1μm | 9kg |
| XYステージ | PK100C-25XY | 25×25mm | 18kg | ||
| XYステージ | PK120C-50XY | 50×50mm | 2μm | 24kg | |
| XYステージ | PK180C-100XY | 100×100mm | ±1μm | 30kg | |
| Zステージ | PK70C-20Z | 20mm | ±0.5μm | 1μm | 3kg |
| Zステージ | PK100C-25Z | 25mm | |||
| Zステージ | PK120C-50Z | 50mm | 2μm | 9kg | |
| Zステージ | PK180C-100Z | 100mm | ±1μm |
PT series
性能チャートグラフ
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。
（*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
真直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| XYステージ | PT100C-20XY | 20×20mm | ±1μm | 5μm | 5kg |
| XYステージ | PT100C-50XY | 50×50mm | |||
| XYステージ | PT140C-100XY | 100×100mm | 15μm | ||
| XYステージ | PT250C-200XY | 200×200mm | ±2μm | 垂直：30μm 水平：15μm |
10kg |
| XYステージ | PT350C-300XY | 300×300mm | 垂直：40μm 水平：15μm |
