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高精度自動ステージ（位置決めステージ）
高精度ＡＣサーボモータステージ 選定ガイド
高精度ＡＣサーボモータステージの選定ガイドです。 各機種の代表的な仕様・特長をご紹介します。高精度ＡＣサーボモータステージでは、ガイド方式・移動軸・ストローク・分解能・位置決め精度など、幅広いバリエーションから最適なステージを選択いただけます。こちらの選定ガイドでは、それぞれの機種の特長を性能チャートにより表示しております。ご仕様・ご用途に最適な機種を選択することができます。
高精度ＡＣサーボモータステージ 主要項目比較
高精度ＡＣサーボモータステージを選定する際に、主な選択指標となる項目で各シリーズを格付けしたものです。
ステージ選定の際の基準として活用下さい。
詳細の仕様まとめてご確認できる「機能別一覧表」もご参照下さい。
SAFA series
性能チャートグラフ
特長
リニアスライドガイドを用いた高精度・高剛性・高耐荷重タイプです。高い再現性を持つステージシステムにより大型・重量物の長距離・高速移動が高精度に行なえます。
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
進直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | SAFA-50XTI | 50mm | ±1μm | 3μm | 50kg |
| Xステージ | SAFA-100XTI | 100mm | |||
| Xステージ | SAFA-200XTI | 200mm | 5μm | ||
| Xステージ | SAFA-300XTI | 300mm | 8μm | ||
| Xステージ | SAFA-400XTI | 400mm | 10μm | ||
| Xステージ | SAFA-500XTI | 500mm | 13μm | ||
| Xステージ | SAFA-600XTI | 600mm | 15μm | ||
| Xステージ | SAFA-700XTI | 700mm | 18μm | ||
| Xステージ | SAFA-800XTI | 800mm | 20μm | ||
| XYステージ | SAFA-50XYTI | 50×50mm | 3μm | 40kg | |
| XYステージ | SAFA-100XYTI | 100×100mm | |||
| XYステージ | SAFA-200XYTI | 200×200mm | 5μm | ||
| XYステージ | SAFA-300XYTI | 300×300mm | 8μm | ||
| XYステージ | SAFA-400XYTI | 400×400mm | 10μm | ||
| Zステージ | SAFA-50ZTI-B | 50mm | 3μm | 10kg | |
| Zステージ | SAFA-100ZTI-B | 100mm | |||
| Zステージ | SAFA-200ZTI-B | 200mm | 5μm | ||
| Zステージ | SAFA-300ZTI-B | 300mm | 8μm |
SAFG series
性能チャートグラフ
特長
一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペース・ローコストモデルです。Ｕ字型アウターレール構造＋4条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
進直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | SAFG-50XTI | 50mm | ±2μm | 5μm | 20kg |
| Xステージ | SAFG-100XTI | 100mm | 10μm | ||
| Xステージ | SAFG-200XTI | 200mm | |||
| Xステージ | SAFG-300XTI | 300mm | 20μm | ||
| Xステージ | SAFG-400XTI | 400mm | |||
| XYステージ | SAFG-50XYTI | 50×50mm | 5μm | 10kg | |
| XYステージ | SAFG-100XYTI | 100×100mm | 10μm | ||
| XYステージ | SAFG-200XYTI | 200×200mm | |||
| Zステージ | SAFG-50ZTI-B | 50mm | 5μm | 5kg | |
| Zステージ | SAFG-100ZTI-B | 100mm | 10μm | ||
| Zステージ | SAFG-200ZTI-B | 200mm | |||
| Zステージ | SAFG-300ZTI-B | 300mm | 20μm | ||
| Zステージ | SAFG-400ZTI-B | 400mm |
SAFB series
性能チャートグラフ
特長
一体型ガイドシステムを用いた高精度・省スペース・ローコストモデルです。Ｕ字型アウターレール構造＋4条列鋼球の一体型ガイドシステムにより高精度・省スペースを実現しました。
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
進直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | SAFB-400XHI | 400mm | ±2μm | 20μm | 15kg |
| Xステージ | SAFB-500XHI | 500mm | 25μm | ||
| Xステージ | SAFB-600XHI | 600mm | |||
| Xステージ | SAFB-700XHI | 700mm | 30μm | ||
| Xステージ | SAFB-800XHI | 800mm | |||
| Xステージ | SAFB-900XHI | 900mm | 40μm | ||
| Xステージ | SAFB-1000XHI | 1000mm | 50μm | ||
| Zステージ | SAFB-400ZHI-B | 400mm | 20μm | 8kg | |
| Zステージ | SAFB-500ZHI-B | 500mm | 25μm | ||
| Zステージ | SAFB-600ZHI-B | 600mm |
SAFK series
性能チャートグラフ
特長
クロスローラとＶ溝によるガイドシステムを用いた高精度モデルです。高精度・高剛性・低摩擦により低速から高速まで安定した高い走行性能を発揮します。
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
進直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | SAFK-50XFI | 50mm | ±1μm | 2μm | 60kg |
| Xステージ | SAFK-100XFI | 100mm | |||
| Xステージ | SAFK-200XFI | 200mm | 5μm | ||
| Xステージ | SAFK-300XFI | 300mm | 7μm | ||
| XYステージ | SAFK-50XYFI | 50×50mm | 2μm | 25kg | |
| XYステージ | SAFK-100XYFI | 100×100mm | |||
| XYステージ | SAFK-200XYFI | 200×200mm | 5μm | ||
| XYステージ | SAFK-300XYFI | 300×300mm | 7μm | ||
| Zステージ | SAFK-50ZFI-B | 50mm | 2μm | 3kg | |
| Zステージ | SAFK-100ZFI-B | 100mm | |||
| Zステージ | SAFK-200ZFI-B | 200mm | 5μm | ||
| Zステージ | SAFK-300ZFI-B | 300mm | 7μm |
SAFK-H series
性能チャートグラフ
特長
高精度クロスローラガイド式ＳＡＦＫシリーズに超高精度ハイデンハイン社製
リニアスケールを搭載フルクローズドループ制御により全ストロークにおいて高精度な位置決めが可能です。
| （*1）：位置決め精度、繰返し精度、ロストモーション、バックラッシュを総合的に判断したものです。 （*2）：真直度、平行度を総合的に判断したものです。 |
| 移動方向 | 型式 | ストローク | 繰返し 位置決め精度 |
進直度 | 耐荷重 |
|---|---|---|---|---|---|
| Xステージ | SAFK-50XFI-H | 50mm | ±0.2μm | 2μm | 60kg |
| Xステージ | SAFK-100XFI-H | 100mm | |||
| Xステージ | SAFK-200XFI-H | 200mm | 5μm | ||
| Xステージ | SAFK-300XFI-H | 300mm | 7μm |
