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繰返し位置決め精度 ±0.002mm以下
超短胴コンパクトボディに高信頼性直動機構を搭載した新シリーズ 高精度スーパースリムステージです。高精度、長距離の位置決めを省スペースで実現します。
型式 | PQ15S-10XY | PQ15S-25XY | PQ15S-50XY | PQ15S-100XY |
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移動方向 | XY軸 | |||
移動量 | 10×10mm | 25×25mm | 50×50mm | 100×100mm |
テーブルサイズ | 15×15㎜ | 15×29㎜ | ||
ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
送り方式 | 精密ボールねじ リード1㎜ | |||
モータ | 0.35A/相 5相ステッピングモータ | |||
(多摩川精機:TS3682N1 相当品) | ||||
搭載センサ | リミット(CW/CCW)センサ | |||
自重 | 0.8kg | 0.86kg | 0.98kg | 1.24kg |
主要材質/外観 | 鋼/ニッケルメッキ処理 |
分解能 | 0.1μm(1/20分割時) 1μm(1/2分割時) | |
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最大速度 | 30㎜/sec(最大荷重/ 1/2分割 /30000pps) | |
耐荷重 | 3kg | 2.5kg |
位置決め精度 | 6μm | 10μm | |
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繰返し位置決め精度 | ±2μm | ||
バックラッシュ | 5μm | ||
ロストモーション | 4μm | ||
真直度(水平・垂直) | 3μm | 5μm | 10μm |
平行度A | 8μm | 15μm |
価格(税抜き) | ¥333,000 | ¥338,000 | ¥350,000 | ¥366,000 |
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ステージ側コネクタ | A |
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RP17-13R-12SC ヒロセ電機㈱ |
ピンNO | 結線仕様 | |
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1 | モータ(青リード) | 5相ステッピングモータ 0.35A/相 (多摩川精機/オリエンタルモータ) |
2 | モータ(赤リード) | |
3 | モータ(橙リード) | |
4 | モータ(緑リード) | |
5 | モータ(黒リード) | |
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7 | CW/CCWリミットセンサ電源+5~+24V | - |
8 | CW/CCWリミットセンサ電源グランド | - |
9 | CCW(モータ側OT1)リミットセンサ出力 | フォトセンサ サンクス製PM型 :遮光時ON |
10 | CW(反モータ側OT2)リミットセンサ出力 | フォトセンサ サンクス製PM型 :遮光時ON |
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対応コントローラ ドライバ型式 |
ケーブル型式 | ステージ側 コネクタ型式 |
コントローラ・ドライバ側 コネクタ型式 |
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CP-700 | PSRD-20SN | RP17-13J-12SC(71) ヒロセ電機㈱ |
D-sub 15P オス |
CP-310 | |||
TD-5D14C | PSRX-20SN | 切断処理 | |
TD-5M13-L |
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