非接触厚み測定システムシステム構成

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非接触厚み測定システム

システム構成

市販のレーザ変位センサを活用した非接触厚み測定システム

非接触厚み測定システムは、厚み測定用専用冶具を組み込んだ自動ステージシステムと、ポジション計測ソフトE-Measure、あるいは汎用データ収集ソフトウェア　E-Measure2と、市販のレーザ変位センサ２台で構成された測定システムです。
レーザ変位センサを２台にて、測定対象物を上下から挟み込み、それぞれの変位データを演算することにより、非接触で対象物の
厚みを測定することができます。厚み測定用専用冶具は、測定する対象物の大きさ、形状等にに応じて自由にカスタマイズ
が可能です。
ポジション計測ソフトE-Measure/E-Measure2、自動ステージシステムを連動し、測定対象物の任意の位置の厚みを測定し、
Excelシートにデータを自動収集することができます。

アプリケーション

接触式厚み測定器では測定の困難な対象物を測定可能に

非接触で測定測定したいサンプルに最適

非接触厚み測定システムでは、非接触レーザ変位センサで厚み計測するため、測定サンプルに接触することなく傷を付けることがありません。このため、従来の接触式厚み計では、接触することにより、表面に傷を付けてしまうようなサンプル、また接触する接触圧で厚みが変化してしまうようなやわらかなサンプルなど、測定が困難であったサンプルの測定を可能にします。

主なアプリケーション

・シリコン・ガリヒ素などのウエハ厚み測定（8インチ、12インチも対応可能）
・LCD等の液晶ガラス基板厚み測定
・プリント基板厚み測定
・フィルム・シート厚み測定

アプリケーション例　ウエハ厚み測定

シリコンウエハ厚み測定

シリコンウエハの測定例をご紹介します。

自動ステージシステム搭載の専用厚み測定冶具にて、サンプル設定も簡単

非接触レーザ変位センサを使用して厚み測定をする場合、２台のセンサの位置合わせ、しっかりとした固定、サンプルの設定が、測定結果に大きな影響を与えます。非接触厚み測定システムでは、センサの固定はもちろん、上下センサの微妙な位置調整機能、専用のサンプル台が、自動ステージシステムと一体化し、簡単に測定がおこなえます。

Excel連動のE-Measueで位置決めも簡単に

専用冶具に設定したウエハに対し、測定するポイントを、Excel連動のE-Measureにて設定します。
実際にステージを移動させながら位置を確認しポイント設定することも、直接Excelシートに移動座標を入力する事でもポイント指定が可能です。測定ポイントが指定できれば、そのまま測定開始で、指定座標へウエハを移動させ、指定ポイントで厚みデータを測定します。測定した厚み測定データはそのままExcelシートの測定結果表示欄へ取り込まれます。

下図は、取得した厚み測定データに対し、Excelにて演算設定し、リアルタイムに各ポイントの測定値の公差判定をさせたものです。