非接触厚み測定システム仕様

製品検索

詳細検索はこちら

非接触厚み測定システム

繰返し位置決め精度 ±0.001mm以下

レーザ変位センサを２台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。
接触式厚み測定器では、測定できない（接触子を対象物に接触させたくない）半導体ウエハ、液晶ガラス、柔らかい対象物などの測定に最適です。

※ 『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括ダウンロードが可能です。詳しくはこちらをご覧下さい。

非接触厚み測定システム仕様表

自動ステージシステム部

型式	TAP-2H-50XY	TAP-2H-100XY	TAP-2H-200XY	TAP-2H-300XY
移動方向	XY軸
移動量	50×50㎜	100×100㎜	200×200㎜	300×300㎜
テーブルサイズ	150×80㎜
ガイド方式	リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード5㎜
モータ	0.75A/相 5相ステッピングモータ
移動分解能	0.5μm　　（分割数：1/20設定時）
位置決め精度	10μm	15μm	25μm	30μm
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	1μm
ロストモーション	5μm
真直度（水平・垂直）	8μm	10μm	10μm	10μm
平行度Ａ	15μm	15μm	20μm	20μm
最大移動速度	30㎜/sec
耐荷重	15kg
自重	約41kg	約45kg	約50kg	約60kg

レーザ変位計部

測定分解能	0.01μm*1
繰り返し精度	0.01μm*1
測定基準距離	10㎜*1
測定範囲	±1㎜*1
センサヘッド位置調整	ラックピニオン式XYZ軸手動ステージ（上側センサヘッド）

*1　システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。
　　実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。

対応コントローラ

ポジションコントローラ	CP-700M
高速アナログコントローラ	TUSB-0216ADMZ、AIO-163202FX-USB

対応アプリケーションソフト

アプリケーションソフト	Excel対応ポジション計測ソフト Excel対応　汎用データ収集ソフトウエア　E-Measure2

対応するOS

こちらをご参照ください。

価格

価格	お問い合わせ下さい

まずは、お気軽にお問い合わせ下さい。ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。