3次元測定器
3次元測定器
ウエハ厚み測定システム
ウェハの厚みを非接触・高精度に測定するシステムです。
市販のレーザ変位センサを２台使用することで、ウェハの表面・裏面を傷つけることなく測定して、高精度のXY軸自動ステージで、
高精度に位置決めしながら測定データを自動収集することができます。
製品のお問い合わせ
専用計測システム
3次元測定器 システム仕様
- ウェハにダメージをあたえない非接触測定
- 専用ソフトによりウェハサイズや測定方法を選択
- 市販のレーザ変位センサから選択が可能
- カスタマイズ・オプションに対応
- 事前の実機テストが可能
自動ステージシステム部
| 型式 | WAP-100XY | WAP-200XY | WAP-300XY |
|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||
| 移動量 | 100×100㎜ | 200×200㎜ | 300×300㎜ |
| 測定可能ウェハサイズ | 2,3,4インチ | 2,3,4,5,6,8インチ | 2,3,4,5,6,8,12インチ |
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | ||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード5㎜ | ||
| モータ | 0.75A/相 5相ステッピングモータ | ||
| 移動分解能 | 0.5μm （分割数：1/20設定時） | ||
| 位置決め精度 | 15μm | 25μm | 30μm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | ||
| バックラッシュ | 1μm | ||
| ロストモーション | 5μm | ||
| 真直度（水平・垂直） | 10μm | ||
| 平行度Ａ | 15μm | 20μm | 20μm |
| 最大移動速度 | 30㎜/sec | ||
| 耐荷重 | 15kg | ||
| 自重 | 92kg | 97kg | 107kg |
レーザ変位センサ部
| 測定分解能 | 0.01μm*1 |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 0.01μm*1 |
| 測定基準距離 | 10㎜*1 |
| 測定範囲 | ±1㎜*1 |
| センサヘッド位置調整 | マイクロメータヘッド付手動ステージ |
| *1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。 実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。 |
コントローラ部
| 型式 | CP-700M |
|---|---|
| 制御軸数 | 2軸 |
| 最大駆動速度 | 4Mpps（高精度補間時：500kpps） |
| 最小駆動速度 | 1pps |
| 加減速時間 | 0～65,535msec |
| 分割数(CP-D7使用時） | 1～250分割 16段階切替 |
| インタフェイス | USB（ver1.1） |
| 入力電圧／消費電流 | DC21.6～26.4V（DC24V±10%）／0.5A |
| 最大消費電力 | 250VA（オプションACアダプタAD-100N使用時） |
| サイズ/自重 | 155×180×60（H）㎜ / 1300g |
ソフトウェア部
| 型式 | WAP |
|---|---|
| 対応機器（自動ステージ） | 当社自動ステージシステム、コントローラ |
| 対応機器（計測機器） | 汎用RS232C計測機器 RS232C通信規格に準拠したインタフェイスを持つ計測器 アスキーコード（文字列）の計測コマンドの送信により計測値を返信する計測器 |
| 計測方法 |
＜ポイント計測＞ ウェハサイズに合わせた任意の位置5点、9点、17点から選択して測定を行います。 データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、 TV5の結果を表示します。 |
|
＜領域測定＞ ウェハサイズに合わせた格子状の位置5mmピッチ、10mmピッチから選択して 測定を行います データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、 TTV（参考値）、反りの結果を表示します。 |
|
|
＜カスタム測定＞ お客様にてExcelファイルで作成しました座標指示プログラム、 及び測定結果を登録しまして測定を行います。 データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。 |
対応するOS
|
こちらをご参照ください。 |
- 専用厚み測定冶具にてセンサ・測定サンプルを簡単設定
- 測定対象物を選ばない非接触厚み測定
- マスターワークを用意すれば、厚み絶対値の測定も可能
- 位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定
- ユーザ様のサンプルに応じて、あらゆるカスタマイズに対応
自動ステージシステム部
| 型式 | TAP-2H-50XY | TAP-2H-100XY | TAP-2H-200XY | TAP-2H-300XY |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | |||
| 移動量 | 50×50㎜ | 100×100㎜ | 200×200㎜ | 300×300㎜ |
| テーブルサイズ | 150×80㎜ | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード5㎜ | |||
| モータ | 0.75A/相 5相ステッピングモータ | |||
| 移動分解能 | 0.5μm （分割数：1/20設定時） | |||
| 位置決め精度 | 10μm | 15μm | 25μm | 30μm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | |||
| バックラッシュ | 1μm | |||
| ロストモーション | 5μm | |||
| 真直度（水平・垂直） | 8μm | 10μm | 10μm | 10μm |
| 平行度Ａ | 15μm | 15μm | 20μm | 20μm |
| 最大移動速度 | 30㎜/sec | |||
| 耐荷重 | 15kg | |||
| 自重 | 約41kg | 約45kg | 約50kg | 約60kg |
レーザ変位計部
| 測定分解能 | 0.01μm*1 |
|---|---|
| 繰り返し精度 | 0.01μm*1 |
| 測定基準距離 | 10㎜*1 |
| 測定範囲 | ±1㎜*1 |
| センサヘッド位置調整 | ラックピニオン式XYZ軸手動ステージ（上側センサヘッド） |
| *1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。 実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。 |
対応コントローラ
| ポジションコントローラ | CP-700M |
|---|---|
| 高速アナログコントローラ | TUSB-0216ADMZ、AIO-163202FX-USB |
対応アプリケーションソフト
| アプリケーションソフト | Excel対応ポジション計測ソフト Excel対応 汎用データ収集ソフトウエア E-Measure2 |
|---|
対応するOS
|
こちらをご参照ください。 |
- 市販のレーザ変位センサを活用できる非接触高精度形状測定システム
- 断面形状・表面粗さ・表面積・体積などあらゆる表面形状解析が可能
- XY測定範囲は標準タイプで300mmワイドエリア対応
- 3種類の計測方法により用途にマッチした測定ができます。
- 3D解析ソフトによりリアルな3Dグラフィック解析が可能です。
自動ステージ部
ＸＹ自動ステージ部
| 型式 | EMS-3D 100XY | EMS-3D 200XY | EMS-3D 300XY |
|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | ||
| 移動量 | 100×100mm | 200×200mm | 300×300mm |
| 試料台サイズ | 120×120mm | 210×210mm | 310×310mm |
| ガイド方式 | 高剛性リニアボールガイド | 高剛性リニアスライドガイド | |
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード2mm | 精密ボールねじ リード5mm | |
| 最小移動分解能 | 0.1μm（分割数40設定時） | 0.1μm（分割数100設定時） | |
| 位置決め精度 | 4μm（ストローク10㎜時） 18μm（フルストローク時） |
4μm（ストローク10㎜時）、25μm（フルストローク時） | |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | ||
| バックラッシュ | 2μm | 1μm | |
| ロストモーション | 3μm | 5μm | |
| 真直度（水平・垂直） | 2μm（ストローク30㎜時） 10μm（フルストローク時） |
2μm（ストローク30㎜時）、20μm（フルストローク時） | |
| 耐荷重 | 14kg | 40kg | |
| 外形寸法 | 370×390×347（H）㎜ | 455×445×436（H）㎜ | 660×655×557（H）㎜ |
| センサヘッド位置調整 | ラックピニオン式Z軸手動ステージ | ||
| 重量 | 約15kg | 約25kg | 約72kg |
制御部
コントローラ部
| 位置決め制御 | ドライバ内蔵型3軸コントローラCP-700M |
|---|---|
| 変位センサデータ収集 | AIO-163202FX-USB |
レーザ変位センサ部（＊１）
| 測定精度 | 測定分解能0.01μm、繰返し精度0.01μm |
|---|---|
| 測定領域 | 測定基準距離10mm、測定範囲±1mm |
| *1 本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。 実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。 |
ソフトウェア部
計測ソフトウェア部
| 型式 | E-Measure3D |
|---|---|
| 対応機器 |
当社自動ステージシステム・コントローラ、アナログ電圧出力装備の変位センサ、 PC（対応OS OS Windows10 日本語版） |
| 基本機能 | XY軸自動ステージの位置決め、変位センサの形状データ収集を自動制御 |
| 計測設定 | 等ピッチ（停止）計測 / 等ピッチ（連続）計測 / 複数領域測定 |
| 機器設定 | 駆動詳細設定（駆動速度、通信、表示）、AD変換詳細設定（収集データ1ch、 電圧レンジ、電圧数値変換、符号、小数点） |
| 保存ファイル形式 | TDV、emd |
| データ変換 | emdファイルをExcelコンバータによりExcel上に表示 |
解析ソフトウェア部
| 型式 | 3D Measurement |
|---|---|
| 対応機器 | PC（対応OS Windows10 日本語版） |
| 表示 | 形状の3D・2Dグラフ表示及び数値解析 |
| 基本プロファイル | 高さ、幅、面積、対角、表面積、粗さRa、粗さRzjis、カットオフ値設定、粗さ曲線表示、うねり曲線表示、カーソル追従設定、傾き補正 |
| 拡張プロファイル | 近似値線、角度、近似円、交点、ピーク点、2点間距離、円中心間距離 |
| 角度計測 | 2点指定角度計測、3点指定角度計測、4点指定角度計測 |
| 半径計測 | 2点指定半径計測、3点指定半径計測 |
| ステップハイ計測 | ２点指定ステップハイ計測、３点指定ステップハイ計測 |
| ２D表示で計測 | フリーランス計測、水平ライン計測、垂直ライン計測、ダイレクトプロファイル表示対応 |
| ポイント高さ | 指定ポイントの高さを表示 |
| 面積、体積計測 | ３Ｄカッタ―により調節で計測可能 |
| データ補正 | 基準高さ設定、平面補正、スムージング（移動平均、加重平均） |
| データ転送 | Excel転送ボタンにてExcel上に３Ｄ、２Ｄ、解析データをワンタッチで転送 |
| 入力ファイル形式 | TDV |
| 出力ファイル形式 | TDV、TDR、DPR |
専用計測システム システム仕様
- 面倒な手動測定を自動化 大幅に工数削減
- 指定角度毎の輝度計計測値を自動測定
- 位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定
- 各種液晶パネルの形状に応じて、あらゆるカスタマイズに対応
液晶視野角特性評価システム
| Excel対応ソフト | 当社の自動ステージをポジショニングしながら、各種制御機器を同時に制御できます。 また、市販の計測機器から計測データを取り込みダイレクトにExcelへ転送できます。 |
|---|---|
| 自動ステージ | 当社の豊富な自動ステージ群からお客様のご要望に適した製品をお選びいただけます。 |
| 制御機器 | ここでの制御機器とは、例えば、波形発生器やパターンジェネレータのようなコマンド命令で制御できる機器を指します。 |
| 計測機器 | RS232C制御が可能な市販の分光輝度計等の計測機器に対応しています。 |
| アナログコントローラ | アナログ電圧出力のセンサなどは、当社のアナログコントローラによりデータ収集 できます。 |
計測方法
| マニュアル・ポジション計測 | 自動ステージを手動キー操作や設定移動量送りで位置決めしながら計測データを 収集できます。 |
|---|---|
| ◇データはリアルタイムにExcelへ収集されます。 | |
| ◇登録された複数の自動ステージと1台の計測器に対応できます。 | |
| 等ピッチ計測（停止） | 測定範囲と測定間隔の登録だけで格子状（パレッタイジング）に移動・停止・計測を 繰り返しながら自動計測をおこないます。 |
| ◇データはリアルタイムにExcelへ収集、またはCSV形式で保存できます。 | |
| ◇登録された1軸または2軸の自動ステージと1台の計測器に対応できます。 | |
| Excel座標計測 | ティーチングまたは座標値入力されたExcelファイルを指定するだけで記述された 位置へ自動的に移動して自動計測をおこないます。 |
| ◇データはリアルタイムにExcelへ収集、またはCSV形式で保存できます。 | |
| ◇登録された複数の自動ステージ、計測器に対応できます。 |
対応するOS
| こちらをご参照ください。 |
