次世代の高精度自動ステージ 位置決めステージ。あらゆるカスタマイズに対応

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3次元測定器より正確な高精度3次元形状測定システム E-Measure3Dシリーズ

高精度3次元形状測定システム E-Measure3Dシリーズ

高精度3次元形状測定システム E-Measure3Dシリーズ 
							市販のレーザ変位センサでを活用できる
							非接触高精度形状測定システム

高精度3次元形状測定システム E-Measure3Dシリーズ(市販センサ使用タイプ)

高速・高精度にあらゆる測定対象物の形状測定をローコストで実現可能です。
お手持ちの市販レーザ変位センサを活用し、非接触・高精度にて微細な表面形状を計測する3次元形状測d定
システムをローコストで構築するシステムです。
アナログ出力のあるレーザ変位センサであれば、メーカーを問わず、ご利用頂くことが可能です。

コムス独自のモーションコントロール技術と、アプリケーション応用技術により 高精度に、測定対象物表面の断面形状、表面粗さ、
表面積、体積などあらゆる表面解析が可能となります。

3D解析ソフトによるリアルな3Dグラフィックによる3次元表示も可能です。
非接触での形状測定、表面粗さ測定、
3D測定等の3次元測定ができ、 接触式の表面粗さ計や、3次元測定器では測定できない対象物でも正確に非接触形状測定が可能です。

特長

市販のレーザ変位センサでを活用できる非接触高精度形状測定システム

高精度3次元形状測定システム MAP-3D 測定原理 市販のレーザ変位センサでを活用できる 非接触高精度形状測定システム

市販レーザ変位センサ活用でローコストを実現

市販のレーザ変位センサを測定部として活用できるため、ローコストで非接触3次元形状測定システムを実現できます。ご用途に応じて、多様なセンサより最適なものを選択できるため、幅広いご用途に活用頂けます。また、すでにレーザ変位センサをお持ちの場合でも、この形状測定システムにより、3次元形状測定システムが構築できます。

測定原理

高精度自動ステージ(位置決めステージ)システムにより高精度に位置決めしたポイントの高さを
レーザ変位計にて測定し、位置と高さのデータから3Dグラフを表示します。
測定用ソフトウェアで任意の測定範囲や測定ピッチ等を設定するだけで自動で測定を行います。

断面形状・表面粗さ・表面積・体積などあらゆる表面形状解析が可能

高精度3次元形状測定システム E-Measure3D 断面形状・表面粗さ・表面積・体積など あらゆる表面形状解析が可能

シンプル操作で誰でも簡単にご使用できます。

3Dグラフ上の任意の箇所の断面プロファイルを2Dグラフ表示し、豊富な計測項目やデータ補正機能により詳細な
形状解析が可能です。計測したデータはそのままExcelに出力したりCSVデータで保存する事ができます。

測定データは、そのままExcelで展開可能

測定データをExcelへ転送し、3Dグラフ表示や、
関数・マクロによる独自の数値解析も可能です。
測定データをExcelデータで保存できるため、社内でのデータ共有化や、ユーザへのデータ提出なども
容易におこなえます。

XY測定範囲は標準タイプで□300mmワイドエリア対応

高精度3次元形状測定システム XY自動ステージシステム 標準タイプで□100mm、200mm、300mmをご用意

□100mm~300mmの3タイプをご用意

測定対象物を移動させるXYステージは、標準タイプで□100mm、200mm、300mmをご用意しております。
測定対象物の大きさ・形状等に合わせ、最適なXYステージを選択頂くことができます。

ご要望に応じステージカスタマイズ可能

標準ステージで測定が難しい場合には、ご用途に応じてステージカスタマイズも可能です。

3種類の計測方法により用途にマッチした測定ができます。

高精度3次元形状測定システム MAP-3D 断面形状・表面粗さ・表面積・体積などあらゆる表面形状解析が可能

等ピッチ計測(停止)

格子状に移動しながら、測定ポイントごとにピッチ送りで、計測器の計測データを収集します。

等ピッチ計測(連続)

弊社、自動ステージ用コントローラとアナログコントローラを使用することで、高速(ノンストップ)に格子状の測定をすることができます。

複数領域計測

弊社、自動ステージ用コントローラとアナログコントローラを使用し、あらかじめティーチングや数値入力により移動目標位置をExcelに登録し、測定時にそのExcelファイルを指定するだけで測定サンプルの複数領域を高速に格子状の測定をることができます。
1つのサンプルで複数個所測定したい場合、同じサンプルを複数測定したい場合に簡単に行えます。

アプリケーション

3D解析ソフトによりリアルな3Dグラフィック解析が可能です。

  • キッチンペーパー ワイヤーフレーム3D表示例
    高精度3次元形状測定システム MAP-3D アプリケーション例:セラミック基板の切り溝形状測定
  • 10円硬貨 3D表示例
    高精度3次元形状測定システム MAP-3D アプリケーション例:チップ抵抗の表面形状測定
  • ゴルフボールポイント高さ計測例
    高精度3次元形状測定システム MAP-3D アプリケーション例:基板の表面形状測定
  • グラビアロール断面計測例
    高精度3次元形状測定システム MAP-3D アプリケーション例:GBAコプラナリティ測定

代表的な用途例

液晶業界

・ シール材の幅・高さ・断面積測定
・ タッチパネルのうねり測定
・ 導光板の表面形状・溝形状・うねり測定

半導体業界

・ ウエハの反り・うねり・厚み測定
・ クリーム半田の形状・断面積・体積測定
・ BGAのコプラナリティ測定
・ 基板の反り・実装後の半田形状測定
・ コネクタ 端子のコプラナリティ

携帯端末業界

・ カバーケースの表面形状測定
・ スピーカー振動板の表面形状測定
・ 接点ボタン(メタルドーム)の表面形状測定
・ 電池パックの断面形状測定
・ メモリーカード用パッケージの表面形状・うねり測定
・ 水晶振動子 水晶の表面形状測定

プリンタ業界

・ 感光ドラムの金属溶接形状・感光部の傷
・ 紙 印刷前後の形状測定、インクトナーの厚み測定

自動車業界

・ エンジン部品の表面形状測定
・ ブレーキ関連部品 ブレーキパッドの平面度測定
・ 内装インパネ 樹脂材料の表面シボ形状測定
・ 燃料電池(セパレータ)の表面形状測定

その他業界

・ 歯科材料(義歯)の表面形状測定
・ ディスクメディアのうねり測定
・ メディアテープのしわ測定
・ セラミックス・ガラス基板のうねり・反り・パターン測定

まずは、お気軽にお問い合わせ下さい。ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。
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製品説明動画

非接触高精度形状測定システムの動画紹介です。

3次元形状測定システム E-Measure3Dの紹介動画を公開しました。
E-Measure3Dの特長、システム構成、測定方法、解析方法など
この動画をご覧いただければ、このシステムをご理解いただける内容となっております。
是非一度ご覧ください。

動画フルバージョンはこちら

コムス高精度3次元形状測定システムE-Measure3Dシリーズについて

コムス高精度3次元形状測定システムE-Measure3Dシリーズについて

測定対象物の高さ、深さ、表面形状、表面積、体積などを高精度、非接触で測定できる3次元形状測定システムとなります。
お手持ちの、あるいは市販のレーザ変位センサを利用することができるため、非常にローコストで、非接触の3次元形状測定システムを構築することが可能です。
レーザ変位センサは多様な種類より最適なものを選択できるため、お客様の測定ニーズにマッチした測定が可能となります。三角測距方式、共焦点方式など、測定される対象物の特性に応じ最適なセンサを選定できるため測定の幅が広がり、多様な対象物の測定に対応できます。

コムス独自のモーションコントロール技術と、アプリケーション応用技術により、高精度に測定対象物表面の断面形状、表面粗さ、表面積、体積など、あらゆる表面解析がこれ一台で実現できます。
3D解析ソフトにより、リアルなグラフィックによる3D解析が可能となります。
非接触にて測定可能なため、接触式の表面粗さ計や3次元測定器では測定できない、接触すると形状の変化する対象物や、やわらかい対象物なども、正確に測定可能となります。

システム構成

自動ステージシステム部

・自動ステージシステム部

測定対象物を設置しXY方向に高精度に位置決めする、自動ステージを搭載したスタンドシステムです。
測定する対象物の大きさに応じて、100mm、200mm、300mmストロークと選択が可能となっております。
また、さらに大きな対象物の測定でも、特注対応により、お客様のニーズに合わせた、カスタマイズが可能となります。

・コントローラ部

自動ステージシステム部を、PCからの指令に応じてコントロールする、ステージコントローラです。場合によりセンサからのアナログ信号をデジタル化する、アナログコントローラが必要となります。

・専用アプリケーションソフト

E-Measure3D 3D Measurement、専用アプリケーションソフトによりシステムの設定、測定、解析を行います。

・市販レーザー変位センサ

測定対象物の高さ情報を取得するためのセンサ部になります。
お手持ちのレーザ変位センサで、アナログ出力、または、RS232C出力のあるもであれば、メーカーを問わずご使用になれます。

・パソコン

測定方法

測定方法

①測定対象物のセット

測定対象物を、自動ステージのテーブル部分にセットします。

②アプリケーションソフトの設定

E-Measure3D アプリケーションソフトを起動し、X軸方向、Y軸方向、それぞれの測定範囲、測定ピッチを設定し、後はスタートボタンを押すだけです。

③スキャン開始

測定は、指定した範囲を連続してレーザ変位センサにてスキャンしていきます。自動ステージが指示通りのエリアを高速で移動しながら、それぞれのポイントにて、レーザ変位センサの高さ情報を取得します。ステージのXYの座標情報、レーザ変位センサの高さ情報を、高速で正確に取得することで、表面形状測定が可能となります。
測定精度は、Z軸方向 繰り返し精度 0.01マイクロメートルから、XY軸方向 繰り返し精度±1マイクロメートルとなります。

解析方法

測定結果の解析は、3D Measurementにより行います。測定結果を表示すると、直接3D表示されます。表示上の縦、横倍率の指定が可能です。主な測定機能をご紹介します。

3Dイメージ 3Dイメージ

・断面表示機能

3D表示上にカーソル移動させ、任意のポイントの断面形状を測定することができます。断面形状グラフのカーソルを合わせることで、高さ幅などの測定が可能です。

・Excelでの活用

測定した結果は、ボタン一つでExcel上に展開することができます。また、測定データは、CSV形式で保存されるため、お客様がダイレクトにExcelで展開、解析することが可能です。

・3Dイメージ

測定した3次元形状データを、よりリアルな3次元グラフィック映像にて表示することができます。高低によるグラデーション表示、ワイヤーフレーム表示、白黒表示など、対象物に応じて、色々な表示モードを切り替え可能です。
また、グラフは任意の方向に移動することができますので、様々な角度からの観察が可能となります。

お手持ちの、あるいは市販のレーザー変位センサを活用できる、コムス 3次元形状測定システム E-Measure3D、ローコストに、お客様の測定ニーズに対応いたします。

実機でのデモンストレーション、お客様のサンプルでの測定評価、テストデータ取りなど、常時実施いたしております。
お気軽にお問い合わせください。

まずは、お気軽にお問い合わせ下さい。ご要望に応じて、あらゆるカスタマイズに対応いたします。
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