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3次元測定器「E-Measure3Dシリーズ」仕様

E-Measure3Dシリーズ

高精度3次元形状測定システム E-Measure3Dシリーズ 
市販のレーザ変位センサでを活用できる
非接触高精度形状測定システム
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E-Measure3D(市販センサ使用タイプ)

高精度3次元形状測定システム 
E-Measure3D(市販センサ使用タイプ)

繰返し位置決め精度 ±0.001mm以下

市販のレーザ変位センサを使用できるローコストタイプです。 お手持ちのレーザ変位センサを利用できるため、ローコストで簡単に形状測定 システムの構築が可能となります。 また、測定対象物・測定範囲・ご要求精度等のご仕様にあわせ、 自由にセンサを選択することができます。

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※ 『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括ダウンロードが可能です。詳しくはこちらをご覧下さい。

E-Measure3D(市販センサ使用タイプ)仕様表

自動ステージ部
XY自動ステージ部
型式 EMS-3D 100XY EMS-3D 200XY EMS-3D 300XY
移動方向 XY軸
移動量 100×100mm 200×200mm 300×300mm
試料台サイズ 120×120mm 210×210mm 310×310mm
ガイド方式 高剛性リニアボールガイド 高剛性リニアスライドガイド
送り方式 精密ボールねじ リード2mm 精密ボールねじ リード5mm
最小移動分解能 0.1μm(分割数40設定時) 0.1μm(分割数100設定時)
位置決め精度 4μm(ストローク10㎜時)
18μm(フルストローク時)
4μm(ストローク10㎜時)、25μm(フルストローク時)
繰返し位置決め精度 ±1μm
バックラッシュ 2μm 1μm
ロストモーション 3μm 5μm
真直度(水平・垂直) 2μm(ストローク30㎜時)
10μm(フルストローク時)
2μm(ストローク30㎜時)、20μm(フルストローク時)
耐荷重 14kg 40kg
外形寸法 370×390×347(H)㎜ 455×445×436(H)㎜ 660×655×557(H)㎜
センサヘッド位置調整 ラックピニオン式Z軸手動ステージ
重量 約15kg 約25kg 約72kg

制御部
コントローラ部
位置決め制御 ポジションコントローラ CP-700
ドライバユニット CP-D7
変位センサデータ収集 AIO-163202FX-USB

レーザ変位センサ部(*1)
測定精度 測定分解能0.01μm、繰返し精度0.01μm
測定領域 測定基準距離10mm、測定範囲±1mm

*1 本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。
  実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。

ソフトウェア部
計測ソフトウェア部
型式 E-Measure3D
対応機器 当社自動ステージシステム・コントローラ、アナログ電圧出力装備の変位センサ、
PC(対応OS WindowsXP、7 日本語版)
基本機能 XY軸自動ステージの位置決め、変位センサの形状データ収集を自動制御
計測設定 等ピッチ(停止)計測 / 等ピッチ(連続)計測 / 複数領域測定
機器設定 駆動詳細設定(駆動速度、通信、表示)、AD変換詳細設定(収集データ1ch、
電圧レンジ、電圧数値変換、符号、小数点)
保存ファイル形式 TDV、emd
データ変換 emdファイルをExcelコンバータによりExcel上に表示

解析ソフトウェア部
型式 3D Measurement
対応機器 PC(対応OS WindowsXP、7 日本語版)
表示 形状の3D・2Dグラフ表示及び数値解析
基本プロファイル 高さ、幅、面積、対角、表面積、粗さRa、粗さRzjis、カットオフ値設定、粗さ曲線表示、うねり曲線表示、カーソル追従設定、傾き補正
拡張プロファイル 近似値線、角度、近似円、交点、ピーク点、2点間距離、円中心間距離
角度計測 2点指定角度計測、3点指定角度計測、4点指定角度計測
半径計測 2点指定半径計測、3点指定半径計測
ステップハイ計測 2点指定ステップハイ計測、3点指定ステップハイ計測
2D表示で計測 フリーランス計測、水平ライン計測、垂直ライン計測、ダイレクトプロファイル表示対応
ポイント高さ 指定ポイントの高さを表示
面積、体積計測 3Dカッタ―により調節で計測可能
データ補正 基準高さ設定、平面補正、スムージング(移動平均、加重平均)
データ転送 Excel転送ボタンにてExcel上に3D、2D、解析データをワンタッチで転送
入力ファイル形式 TDV
出力ファイル形式 TDV、TDR、DPR