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3次元測定器

3次元測定器

ウエハ厚み測定システム

ウェハの厚みを非接触・高精度に測定するシステムです。 市販のレーザ変位センサを2台使用することで、ウェハの表面・裏面を傷つけることなく測定して、高精度のXY軸自動ステージで、 高精度に位置決めしながら測定データを自動収集することができます。
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3次元測定器

非接触厚み測定システム

レーザ変位センサを2台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。 自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。 接触できないウエハや基板、液晶ガラスなどの厚み測定に最適です。対象物の大きさや形状に応じて、あらゆるカスタマイズに対応します。
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3次元測定器

高精度3次元形状測定システム E-Measure3dシリーズ(市販センサ使用タイプ)

市販のレーザ変位センサを使用できるローコストタイプの3次元形状測定システムです。 お手持ちのレーザ変位センサを利用できるため、ローコストで簡単に形状測定 システムの構築が可能となります。 測定対象物・測定範囲・ご要求精度等のご仕様にあわせ、 自由にセンサを選択することができます。
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専用計測システム

専用計測システム

液晶視野角特性評価システム EMSシリーズ

EMS seriesは、液晶視野角測定において、液晶パネルの位置制御+液晶表示画像制御+分光輝度計データ収集を全て 自動で測定することを可能にするシステムです。
液晶視野角特性評価は、液晶パネルの位置決め、分光輝度計のデータ収集など、手動での測定は非常に手間が掛かります。 視野角特性評価の工数を大幅に削減することが可能です。 ローコストでシステム構築ができ、お客様の仕様に応じたカスタマイズが可能ですので、 多種・多様なパネルにも最適なシステムをご提案します。
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3次元測定器 システム仕様

ウエハ厚み測定システム
3次元測定器

ウエハ厚み測定システム

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  • ウェハにダメージをあたえない非接触測定
  • 専用ソフトによりウェハサイズや測定方法を選択
  • 市販のレーザ変位センサから選択が可能
  • カスタマイズ・オプションに対応
  • 事前の実機テストが可能
自動ステージシステム部
型式 WAP-100XY WAP-200XY WAP-300XY
移動方向 XY軸
移動量 100×100㎜ 200×200㎜ 300×300㎜
測定可能ウェハサイズ 2,3,4インチ 2,3,4,5,6,8インチ 2,3,4,5,6,8,12インチ
ガイド方式 リニアスライドガイド
送り方式 精密ボールねじ リード5㎜
モータ 0.75A/相 5相ステッピングモータ
移動分解能 0.5μm  (分割数:1/20設定時)
位置決め精度 15μm 25μm 30μm
繰返し位置決め精度 ±1μm
バックラッシュ 1μm
ロストモーション 5μm
真直度(水平・垂直) 10μm
平行度A 15μm 20μm 20μm
最大移動速度 30㎜/sec
耐荷重 15kg
自重 92kg 97kg 107kg
レーザ変位センサ部
測定分解能 0.01μm*1
繰り返し精度 0.01μm*1
測定基準距離 10㎜*1
測定範囲 ±1㎜*1
センサヘッド位置調整 マイクロメータヘッド付手動ステージ
*1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。
  実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
コントローラ部
型式 CP-700
制御軸数 2軸
最大駆動速度 4Mpps(高精度補間時:500kpps)
最小駆動速度 1pps
加減速時間 0~65,535msec
分割数(CP-D7使用時) 1~250分割 16段階切替
インタフェイス USB(ver1.1)
入力電圧/消費電流 DC21.6~26.4V(DC24V±10%)/0.5A
最大消費電力 250VA(オプションACアダプタAD-100N使用時)
サイズ/自重 155×180×60(H)㎜ / 1300g
ソフトウェア部
型式 WAP
対応機器(自動ステージ) 当社自動ステージシステム、コントローラ
対応機器(計測機器) 汎用RS232C計測機器
RS232C通信規格に準拠したインタフェイスを持つ計測器
アスキーコード(文字列)の計測コマンドの送信により計測値を返信する計測器
計測方法 <ポイント計測>
ウェハサイズに合わせた任意の位置5点、9点、17点から選択して測定を行います。
データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。
Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、
TV5の結果を表示します。
<領域測定>
ウェハサイズに合わせた格子状の位置5mmピッチ、10mmピッチから選択して
測定を行います
データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。
Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、
TTV(参考値)、反りの結果を表示します。
<カスタム測定>
お客様にてExcelファイルで作成しました座標指示プログラム、
及び測定結果を登録しまして測定を行います。
データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。
対応するOS

こちらをご参照ください。

非接触厚み測定システム
3次元測定器

非接触厚み測定システム

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  • 専用厚み測定冶具にてセンサ・測定サンプルを簡単設定
  • 測定対象物を選ばない非接触厚み測定
  • マスターワークを用意すれば、厚み絶対値の測定も可能
  • 位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定
  • ユーザ様のサンプルに応じて、あらゆるカスタマイズに対応
自動ステージシステム部
型式 TAP-2H-50XY TAP-2H-100XY TAP-2H-200XY TAP-2H-300XY
移動方向 XY軸
移動量  50×50㎜ 100×100㎜ 200×200㎜ 300×300㎜
テーブルサイズ 150×80㎜
ガイド方式 リニアスライドガイド
送り方式 精密ボールねじ リード5㎜
モータ 0.75A/相 5相ステッピングモータ
移動分解能 0.5μm  (分割数:1/20設定時)
位置決め精度 10μm 15μm 25μm 30μm
繰返し位置決め精度 ±1μm
バックラッシュ 1μm
ロストモーション 5μm
真直度(水平・垂直) 8μm 10μm 10μm 10μm
平行度A 15μm 15μm 20μm 20μm
最大移動速度 30㎜/sec
耐荷重 15kg
自重 約41kg 約45kg 約50kg 約60kg
レーザ変位計部
測定分解能 0.01μm*1
繰り返し精度 0.01μm*1
測定基準距離 10㎜*1
測定範囲 ±1㎜*1
センサヘッド位置調整 ラックピニオン式XYZ軸手動ステージ(上側センサヘッド)
*1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。
  実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
対応コントローラ
ポジションコントローラ CP-700
高速アナログコントローラ TUSB-0216ADMZ、AIO-163202FX-USB
対応アプリケーションソフト
アプリケーションソフト Excel対応ポジション計測ソフト
Excel対応 汎用データ収集ソフトウエア E-Measure2
対応するOS

こちらをご参照ください。

高精度3次元形状測定システム E-Measure3dシリーズ(市販センサ使用タイプ)
3次元測定器

高精度3次元形状測定システム E-Measure3dシリーズ(市販センサ使用タイプ)

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  • 市販のレーザ変位センサを活用できる非接触高精度形状測定システム
  • 断面形状・表面粗さ・表面積・体積などあらゆる表面形状解析が可能
  • XY測定範囲は標準タイプで300mmワイドエリア対応
  • 3種類の計測方法により用途にマッチした測定ができます。
  • 3D解析ソフトによりリアルな3Dグラフィック解析が可能です。

自動ステージ部
XY自動ステージ部
型式 EMS-3D 100XY EMS-3D 200XY EMS-3D 300XY
移動方向 XY軸
移動量 100×100mm 200×200mm 300×300mm
試料台サイズ 120×120mm 210×210mm 310×310mm
ガイド方式 高剛性リニアボールガイド 高剛性リニアスライドガイド
送り方式 精密ボールねじ リード2mm 精密ボールねじ リード5mm
最小移動分解能 0.1μm(分割数40設定時) 0.1μm(分割数100設定時)
位置決め精度 4μm(ストローク10㎜時)
18μm(フルストローク時)
4μm(ストローク10㎜時)、25μm(フルストローク時)
繰返し位置決め精度 ±1μm
バックラッシュ 2μm 1μm
ロストモーション 3μm 5μm
真直度(水平・垂直) 2μm(ストローク30㎜時)
10μm(フルストローク時)
2μm(ストローク30㎜時)、20μm(フルストローク時)
耐荷重 14kg 40kg
外形寸法 370×390×347(H)㎜ 455×445×436(H)㎜ 660×655×557(H)㎜
センサヘッド位置調整 ラックピニオン式Z軸手動ステージ
重量 約15kg 約25kg 約72kg
制御部
コントローラ部
位置決め制御 ポジションコントローラ CP-700
ドライバユニット CP-D7
変位センサデータ収集 AIO-163202FX-USB
レーザ変位センサ部(*1)
測定精度 測定分解能0.01μm、繰返し精度0.01μm
測定領域 測定基準距離10mm、測定範囲±1mm
*1 本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。
  実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。
ソフトウェア部
計測ソフトウェア部
型式 E-Measure3D
対応機器 当社自動ステージシステム・コントローラ、アナログ電圧出力装備の変位センサ、
PC(対応OS WindowsXP、7 日本語版)
基本機能 XY軸自動ステージの位置決め、変位センサの形状データ収集を自動制御
計測設定 等ピッチ(停止)計測 / 等ピッチ(連続)計測 / 複数領域測定
機器設定 駆動詳細設定(駆動速度、通信、表示)、AD変換詳細設定(収集データ1ch、
電圧レンジ、電圧数値変換、符号、小数点)
保存ファイル形式 TDV、emd
データ変換 emdファイルをExcelコンバータによりExcel上に表示
解析ソフトウェア部
型式 3D Measurement
対応機器 PC(対応OS WindowsXP、7 日本語版)
表示 形状の3D・2Dグラフ表示及び数値解析
基本プロファイル 高さ、幅、面積、対角、表面積、粗さRa、粗さRzjis、カットオフ値設定、粗さ曲線表示、うねり曲線表示、カーソル追従設定、傾き補正
拡張プロファイル 近似値線、角度、近似円、交点、ピーク点、2点間距離、円中心間距離
角度計測 2点指定角度計測、3点指定角度計測、4点指定角度計測
半径計測 2点指定半径計測、3点指定半径計測
ステップハイ計測 2点指定ステップハイ計測、3点指定ステップハイ計測
2D表示で計測 フリーランス計測、水平ライン計測、垂直ライン計測、ダイレクトプロファイル表示対応
ポイント高さ 指定ポイントの高さを表示
面積、体積計測 3Dカッタ―により調節で計測可能
データ補正 基準高さ設定、平面補正、スムージング(移動平均、加重平均)
データ転送 Excel転送ボタンにてExcel上に3D、2D、解析データをワンタッチで転送
入力ファイル形式 TDV
出力ファイル形式 TDV、TDR、DPR

専用計測システム システム仕様

液晶視野角特性評価システム EMSシリーズ
専用計測システム

液晶視野角特性評価システム EMSシリーズ

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  • 面倒な手動測定を自動化 大幅に工数削減
  • 指定角度毎の輝度計計測値を自動測定
  • 位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定
  • 各種液晶パネルの形状に応じて、あらゆるカスタマイズに対応
液晶視野角特性評価システム
Excel対応ソフト 当社の自動ステージをポジショニングしながら、各種制御機器を同時に制御できます。
また、市販の計測機器から計測データを取り込みダイレクトにExcelへ転送できます。
自動ステージ 当社の豊富な自動ステージ群からお客様のご要望に適した製品をお選びいただけます。
制御機器 ここでの制御機器とは、例えば、波形発生器やパターンジェネレータのようなコマンド命令で制御できる機器を指します。
計測機器 RS232C制御が可能な市販の分光輝度計等の計測機器に対応しています。
アナログコントローラ アナログ電圧出力のセンサなどは、当社のアナログコントローラによりデータ収集
できます。
計測方法
マニュアル・ポジション計測 自動ステージを手動キー操作や設定移動量送りで位置決めしながら計測データを
収集できます。
◇データはリアルタイムにExcelへ収集されます。
◇登録された複数の自動ステージと1台の計測器に対応できます。
等ピッチ計測(停止) 測定範囲と測定間隔の登録だけで格子状(パレッタイジング)に移動・停止・計測を
繰り返しながら自動計測をおこないます。
◇データはリアルタイムにExcelへ収集、またはCSV形式で保存できます。
◇登録された1軸または2軸の自動ステージと1台の計測器に対応できます。
Excel座標計測 ティーチングまたは座標値入力されたExcelファイルを指定するだけで記述された
位置へ自動的に移動して自動計測をおこないます。
◇データはリアルタイムにExcelへ収集、またはCSV形式で保存できます。
◇登録された複数の自動ステージ、計測器に対応できます。
対応するOS

こちらをご参照ください。