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非接触厚み測定システム

非接触厚み測定システム
非接触レーザ変位センサを活用し、ウエハや基板等、
さまざまな対象物の非接触厚み測定が可能です。
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非接触厚み測定システム

レーザ変位センサを2台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。
自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。

特長

専用厚み測定冶具にてセンサ・測定サンプルを簡単設定

非接触レーザ変位センサを使用して厚み測定をする場合、2台のセンサの位置合わせ、しっかりとした固定、サンプルの設定が、
測定結果に大きな影響を与えます。
専用厚み測定冶具には、レーザ変位センサ専用の固定治具、サンプル設置台があらかじめセットアップしてあるため、
レーザ変位センサの取付け、測定サンプルの設定が非常に簡単におこなえます。

非接触厚み測定システム シリコンウエハ厚み測定
自動ステージシステム搭載の専用厚み測定冶具にて、サンプル設定も簡単

非接触厚み測定システムでは、センサの固定冶具、
上下センサの微妙な位置調整機能、専用サンプル台が、自動ステージシステムと一体化し、簡単に測定がおこなえます。

サンプルの大きさ・形状等に合わせ、サンプル設置部分はあらゆるカスタマイズ可能

厚みを測定するサンプルの大きさ・形状に合わせ、サンプル設置部分はあらゆるカスタマイズが可能です。ウエハや基板、液晶ガラスなど、測定サンプルに応じて、最適なシステムをご提案いたします。

測定対象物を選ばない非接触厚み測定

非接触レーザ変位センサで計測するため、測定サンプルに接触することなく傷を付けることがありません。
半導体ウエハや液晶ガラスなど、表面に接触することができないサンプルや、接触すると形状が変化するような柔らかいサンプルなど従来の接触式厚み測定器では、測定が困難な対象物の厚みを測定可能にします。


マスターワークを用意すれば、厚み絶対値の測定も可能

レーザ変位センサは、センサ部と測定対象物の相対的な距離(位置)を測定する計測器ですが、 2台のレーザ変位センサにて挟み込んで測定する際に、ブロックゲージや厚みゲージなどの正確に厚みのわかっているマスターサンプルを測定し、キャリブレーションをおこなうことで、正確に厚みの絶対値測定が可能になります。
厚み測定冶具には、厚みゲージなどの基準ゲージを取り付ける事が可能で、測定を開始する際に、一旦正確にキャリブレーションをして、厚みを測定することができるため、信頼性のある測定を可能としました。

位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定

自動ステージの位置決め、測定データの収集、上下レーザ変位センサの測定データの演算、結果(交差判定、良品・不良品判定)まですべて簡単なEXCEL連動の計測・位置決めアプリケーションソフトE-mesure 1つでできます。
測定設定後は、ボタン一つですべて測定が可能となります。

非接触厚み測定システム
位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定
ウエハ厚み測定用のExcelアドインソフトもご用意

非接触厚み測定システムにて、測定のご要望の多い半導体ウエハ測定には、ウエハ厚み測定専用のExcelアドインソフトをご用意しております。微細な表面変化から、大きな変化まで、これ1台で測定できます。ウエハの厚みムラや、うねり・反りの測定が簡単に設定・測定可能です。

ユーザ様のサンプルに応じて、あらゆるカスタマイズに対応

測定対象物の大きさ、厚み等により、対象物の固定治具や、システムをユーザ様のご要望に応じてあらゆるカスタマイズに対応します。 12インチウエハなど、大型サンプルでの実績もございますので、お気軽にご相談ください。