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非接触厚み測定システム

非接触厚み測定システム
非接触レーザ変位センサを活用し、ウエハや基板等、
さまざまな対象物の非接触厚み測定が可能です。
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非接触厚み測定システム

非接触厚み測定システム

繰返し位置決め精度 ±0.001mm以下

レーザ変位センサを2台使用することにより、測定対象物を上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。
接触式厚み測定器では、測定できない(接触子を対象物に接触させたくない)半導体ウエハ、液晶ガラス、柔らかい対象物などの測定に最適です。

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※ 『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括ダウンロードが可能です。詳しくはこちらをご覧下さい。

非接触厚み測定システム仕様表

自動ステージシステム部
型式 TAP-2H-50XY TAP-2H-100XY TAP-2H-200XY TAP-2H-300XY
移動方向 XY軸
移動量  50×50㎜ 100×100㎜ 200×200㎜ 300×300㎜
テーブルサイズ 150×80㎜
ガイド方式 リニアスライドガイド
送り方式 精密ボールねじ リード5㎜
モータ 0.75A/相 5相ステッピングモータ
移動分解能 0.5μm  (分割数:1/20設定時)
位置決め精度 10μm 15μm 25μm 30μm
繰返し位置決め精度 ±1μm
バックラッシュ 1μm
ロストモーション 5μm
真直度(水平・垂直) 8μm 10μm 10μm 10μm
平行度A 15μm 15μm 20μm 20μm
最大移動速度 30㎜/sec
耐荷重 15kg
自重 約41kg 約45kg 約50kg 約60kg
レーザ変位計部
測定分解能 0.01μm*1
繰り返し精度 0.01μm*1
測定基準距離 10㎜*1
測定範囲 ±1㎜*1
センサヘッド位置調整 ラックピニオン式XYZ軸手動ステージ(上側センサヘッド)
*1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。
  実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
対応コントローラ
ポジションコントローラ CP-700
高速アナログコントローラ TUSB-0216ADMZ、AIO-163202FX-USB
対応アプリケーションソフト
アプリケーションソフト Excel対応ポジション計測ソフト
Excel対応 汎用データ収集ソフトウエア E-Measure2
対応するOS

こちらをご参照ください。

価格
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