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ウェハ厚み測定システム

ウェハ厚み測定システム
非接触レーザ変位センサを活用し、
ウェハの非接触厚み測定が可能です。
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ウェハ厚み測定システム

ウェハの厚み測定を非接触・高精度・簡便に行うことができるシステムです。
専用ソフトによる簡単な設定で高精度な位置決めと非接触レーザ変位センサ2台による、
ウェハの表面・裏面の変位測定、ExcelやCSVファイルへのデータ自動収集が行えます。
ウェハサイズや測定方法に合わせたカスタマイズ対応が可能です。


特長

ウェハにダメージをあたえない非接触測定

ウェハの表面・裏面をレーザ光により非接触で走査しますのでウェハにダメージを与えることがありません。
また、ウェハ設置面へのテフロンコーティング、ガイドピンのピーク材仕様等の汚染防止仕様が施されています。

ウェハ厚み測定システム 
非接触の測定でウェハに傷を付けずに測定

<ウェハ厚み測定システム 本体>

 ウェハ厚み測定専用アプリケーションソフト

ウェハの厚み測定に特化した専用ソフトによりウェハサイズや測定方法を選択することで簡単に測定を開始でき、
測定データは自動でExcelシートやCSVファイルに収集されます。
Excel上で最大値、最小値、平均値、公差判定、TTV(参考値)、反り量測定やグラフ表示等が可能な結果判定用Excelシートを
標準で装備していますが、お客様が測定箇所や結果計算をExcelで任意に作成することもできます。

<測定手順の概略>
①「測定パターン」選択: ポイント測定 / 領域測定 / カスタム測定
②「測定点数」選択: ポイント測定時(5点 / 9点 / 17点) 領域測定時(5㎜ / 10㎜)
③「ウェハサイズ/オリフラ有無」選択: ウェハサイズ(2 / 3 / 4 / 5 / 6 / 8 / 12インチ) オリフラ(あり/なし)
④ 測定イメージ表示
⑤ START


非接触厚み測定システム
位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定

<測定データの出力>
測定データはExcelまたはCSVファイルに出力されます。

非接触厚み測定システム
位置決め・データ収集もEXCEL対応ソフトで楽々設定


市販のレーザ変位センサから選択が可能

レーザ変位センサは市販のレーザ変位センサから最適なタイプを選定し搭載することができます。
測定対象ウェハの仕様、精度、使用環境、ご予算等に合わせたフレキシブルなシステム構成が可能です。

   
ウェハ厚み測定システム
ウェハサンプル台

 

カスタマイズ・オプション対応

ウェハサイズ、ステージストローク等

ウェハサイズ、測定内容等に合わせてステージストローク変更やウェハ設置面のカスタマイズが可能です。

   
ウェハ厚み測定システム
ウェハサンプル台
<オプション サンプル台>



オプション カバー

また、安全カバーや除振台などのオプション装備も幅広く対応可能です。


   
ウェハ厚み測定システム
安全対策用カバー

<オプションカバー 閉 → 開>



オプション 除振台
ウェハ厚み測定システム
除振台



事前の実機テスト

デモ機等によりお客様の実際のウェハや基準ワークで測定の可否や従来方法との比較を事前に確認していただくことが可能です。
お気軽にお問合せ下さい。