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①センサ上下移動機構 (粗動) |
センサ取付部を上下に移動できます。 |
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①センサ上下移動機構 (微動) |
センサ取付部を微動ダイヤルで上下に微動できます。 |
③レーザ変位センサ取付部 | 市販のレーザ変位センサを取り付けることができます。 |
④高精度自動ステージ(位置決めステージ)部 | XYストローク100×100mm、200×200mm、300×300mmの3タイプより選択できます。 |
付属内容 |
その他、3D解析ソフト |