E-Measure3Dシリーズ

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E-Measure3D（市販センサ使用タイプ）

E-Measure3D（市販センサ使用タイプ）仕様表

自動ステージ部

ＸＹ自動ステージ部

型式	EMS-3D　100XY	EMS-3D　200XY	EMS-3D　300XY
移動方向	XY軸
移動量	100×100mm	200×200mm	300×300mm
試料台サイズ	120×120mm	210×210mm	310×310mm
ガイド方式	高剛性リニアボールガイド		高剛性リニアスライドガイド
送り方式	精密ボールねじ　リード2mm		精密ボールねじ　リード5mm
最小移動分解能	0.1μm（分割数40設定時）		0.1μm（分割数100設定時）
位置決め精度	4μm（ストローク10㎜時） 18μm（フルストローク時）	4μm（ストローク10㎜時）、25μm（フルストローク時）
繰返し位置決め精度	±1μm
バックラッシュ	2μm		1μm
ロストモーション	3μm		5μm
真直度（水平・垂直）	2μm（ストローク30㎜時） 10μm（フルストローク時）	2μm（ストローク30㎜時）、20μm（フルストローク時）
耐荷重	14kg		40kg
外形寸法	370×390×347（H）㎜	455×445×436（H）㎜	660×655×557（H）㎜
センサヘッド位置調整	ラックピニオン式Z軸手動ステージ
重量	約15kg	約25kg	約72kg

制御部

コントローラ部

位置決め制御	ドライバ内蔵型3軸コントローラ CP-700M
変位センサデータ収集	AIO-163202FX-USB

レーザ変位センサ部（＊１）

測定精度	測定分解能0.01μm、繰返し精度0.01μm
測定領域	測定基準距離10mm、測定範囲±1mm

*1　本システムに搭載可能なレーザ変位センサ単体の精度例です。 　　実際の精度はセンサの種類、設定、測定対象、使用環境等により異なります。

ソフトウェア部

計測ソフトウェア部

型式	E-Measure3D
対応機器	当社自動ステージシステム・コントローラ、アナログ電圧出力装備の変位センサ、 PC（対応OS　Windows10　日本語版）
基本機能	XY軸自動ステージの位置決め、変位センサの形状データ収集を自動制御
計測設定	等ピッチ（停止）計測　/　等ピッチ（連続）計測　/　複数領域測定
機器設定	駆動詳細設定（駆動速度、通信、表示）、AD変換詳細設定（収集データ1ch、 電圧レンジ、電圧数値変換、符号、小数点）
保存ファイル形式	TDV、emd
データ変換	emdファイルをExcelコンバータによりExcel上に表示

解析ソフトウェア部

型式	3D　Measurement
対応機器	PC（対応OS　Windows10　日本語版）
表示	形状の3D・2Dグラフ表示及び数値解析
基本プロファイル	高さ、幅、面積、対角、表面積、粗さRa、粗さRzjis、カットオフ値設定、粗さ曲線表示、うねり曲線表示、カーソル追従設定、傾き補正
拡張プロファイル	近似値線、角度、近似円、交点、ピーク点、2点間距離、円中心間距離
角度計測	2点指定角度計測、3点指定角度計測、4点指定角度計測
半径計測	2点指定半径計測、3点指定半径計測
ステップハイ計測	２点指定ステップハイ計測、３点指定ステップハイ計測
２D表示で計測	フリーランス計測、水平ライン計測、垂直ライン計測、ダイレクトプロファイル表示対応
ポイント高さ	指定ポイントの高さを表示
面積、体積計測	３Ｄカッタ―により調節で計測可能
データ補正	基準高さ設定、平面補正、スムージング（移動平均、加重平均）
データ転送	Excel転送ボタンにてExcel上に３Ｄ、２Ｄ、解析データをワンタッチで転送
入力ファイル形式	TDV
出力ファイル形式	TDV、TDR、DPR