キーエンス社製　WI-5000シリーズ対応測定システム

キーエンス製　WIシリーズと組み合わせた測定システムです。 キーエンス社の白色干渉3D変位計WIシリーズは最大10×10mmの測定エリアに対し、8万点の3次元形状を高精度に測定できます。COMSの測定システムは、このWIシリーズと組み合わせて更に広範囲を自動的に移動-測定しながらEXCELに測定データを自動収集することができます。

Excel対応 自動測定ソフト E-Measure2

マトリクス（格子状）に測定、または、Excelに登録した座標毎に測定するかを選択。自動で移動しながらWI-5000からの測定データを取得し、リアルタイムに Excel にデータ収集できます。

システム構成例

測定システムの搬入設置ならびにソフトウエアの初期設定、オペレーショントレーニングまで対応しますので導入後すぐにお使いいただけます。（WI-5000操作方法はキーエンスご担当者様対応となります）

VIMEOにて動画を配信しております。

XYステージシステム仕様表

型式	BS1010XY	BS2020XY	BS3030XY
移動方向	XY軸
移動量	100×100㎜	200×200㎜	300×300㎜
送り方式	精密ボールねじ
駆動用搭載モータ	5相ステッピングモータ
最小移動分解能	0.1μm（40分割時）		0.1μm（100分割時）
繰返し位置決め精度	±1μm
位置決め精度	18μm（フルストローク時）		20μm（フルストローク時）
バックラッシュ	2μm		1μm
ロストモーション	3μm		5μm
真直度（水平・垂直）	10μm（フルストローク時）		20μm（フルストローク時）
積載可能重量	14Kg		40Kg
試料台サイズ	120×120mm	210×210mm	310×310mm
外形寸法	370×390×347（H）㎜	455×445×436（H）㎜	660×655×557（H）㎜
重量	約15kg	約25kg	約72kg

E-Measure2WIに傾き追従機能を追加したE-Measure2WI-ATが誕生

・1.概要
キーエンス製　白色干渉３D変位計　WI-5000シリーズのパターンサーチ機能を使ってマスター登録したサンプルと実際に置かれた測定サンプルとの傾きを算出しその角度に合わせて自動補正し測定を行う機能を追加しました。

・2.詳細
パターンサーチ機能で角度を算出