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キーエンス社製 WI-5000シリーズ対応測定システム

白色干渉3D変位計 WI-5000シリーズ

キーエンス製 WIシリーズと組み合わせた測定システムです。 キーエンス社の白色干渉3D変位計WIシリーズは最大10×10mmの測定エリアに対し、8万点の3次元形状を高精度に測定できます。COMSの測定システムは、このWIシリーズと組み合わせて更に広範囲を自動的に移動-測定しながらEXCELに測定データを自動収集することができます。

Excel対応 自動測定ソフト E-Measure2

マトリクス(格子状)に測定、または、Excelに登録した座標毎に測定するかを選択。自動で移動しながらWI-5000からの測定データを取得し、リアルタイムに Excel にデータ収集できます。

システム構成例

測定システムの搬入設置ならびにソフトウエアの初期設定、オペレーショントレーニングまで対応しますので導入後すぐにお使いいただけます。(WI-5000操作方法はキーエンスご担当者様対応となります)

VIMEOにて動画を配信しております。

XYステージシステム仕様表

型式 BS1010XY BS2020XY BS3030XY
移動方向 XY軸
移動量 100×100㎜ 200×200㎜ 300×300㎜
送り方式 精密ボールねじ
駆動用搭載モータ 5相ステッピングモータ
最小移動分解能 0.1μm(40分割時) 0.1μm(100分割時)
繰返し位置決め精度 ±1μm
位置決め精度 18μm(フルストローク時) 20μm(フルストローク時)
バックラッシュ 2μm 1μm
ロストモーション 3μm 5μm
真直度(水平・垂直) 10μm(フルストローク時) 20μm(フルストローク時)
積載可能重量 14Kg 40Kg
試料台サイズ 120×120mm 210×210mm 310×310mm
外形寸法 370×390×347(H)㎜ 455×445×436(H)㎜ 660×655×557(H)㎜
重量 約15kg 約25kg 約72kg