キーエンス社製 CL-3000シリーズ対応測定システム
Excel対応 自動測定ソフト E-Measure2
キーエンス社CLシリーズと組み合わせた非接触厚み測定システムです。キーエンス社 マルチカラーレーザー同軸変位計 CLシリーズはマルチカラー共焦点方式により材質を選ばず高精度に測定することが出来るセンサです。COMSの厚み測定システムはこのCLシリーズと組み合わせることにより指定したXY座標に自動で移動してその座標と厚みデータをExcelに取り込むことにより面全体の厚みデータを把握することができます。
マトリクス（格子状）に測定、または、Excelに登録した座標毎に測定するかを選択。自動で移動しながらCL-3000からの測定データを取得し、リアルタイムに Excel にデータ収集できます。
測定システムの搬入設置ならびにソフトウエアの初期設定、オペレーショントレーニングまで対応しますので、導入後すぐにお使いいただけます。
（CL-3000の操作方法はキーエンス社対応となります）
VIMEOにて動画を配信しております。
XYステージシステム仕様表
| 型式 | TAP-2H-50XY | TAP-2H-100XY | TAP-2H-200XY | TAP-2H-300XY |
|---|---|---|---|---|
| 移動方向 | XY軸 | |||
| 移動量 | 50×50㎜ | 100×100㎜ | 200×200㎜ | 300×300㎜ |
| テーブルサイズ | 150×80㎜ | |||
| ガイド方式 | リニアスライドガイド | |||
| 送り方式 | 精密ボールねじ リード5㎜ | |||
| モータ | 0.75A/相 5相ステッピングモータ | |||
| 移動分解能 | 0.5μm （分割数：1/20設定時） | |||
| 位置決め精度 | 10μm | 15μm | 25μm | 30μm |
| 繰返し位置決め精度 | ±1μm | |||
| バックラッシュ | 1μm | |||
| ロストモーション | 5μm | |||
| 真直度（水平・垂直） | 8μm | 10μm | 10μm | 10μm |
| 平行度Ａ | 15μm | 15μm | 20μm | 20μm |
| 最大移動速度 | 30㎜/sec | |||
| 耐荷重 | 15kg | |||
| 自重 | 約41kg | 約45kg | 約50kg | 約60kg |
