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ウェハ厚み測定システム

ウェハ厚み測定システム
非接触レーザ変位センサを活用し、
ウェハの非接触厚み測定が可能です。
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ウェハ厚み測定システム

非接触厚み測定システム

繰返し位置決め精度 ±0.001mm以下

レーザ変位センサを2台使用することにより、ウェハを上下から挟み込み、非接触で厚みを測定するシステムです。自動ステージシステムと連動し、多点で厚みを測定し、それぞれのポイントの厚み測定結果から一面の厚み変化を簡単に測定することが可能です。
接触式厚み測定器では、測定できない(接触子を対象物に接触させたくない)半導体ウエハの測定に最適です。

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※ 『ダウンロードリストに追加』する事によりデータの一括ダウンロードが可能です。詳しくはこちらをご覧下さい。

ウェハ厚み測定システム仕様表

自動ステージシステム部
型式 WAP-100XY WAP-200XY WAP-300XY
移動方向 XY軸
移動量 100×100㎜ 200×200㎜ 300×300㎜
測定可能ウェハサイズ 2,3,4インチ 2,3,4,5,6,8インチ 2,3,4,5,6,8,12インチ
ガイド方式 リニアスライドガイド
送り方式 精密ボールねじ リード5㎜
モータ 0.75A/相 5相ステッピングモータ
移動分解能 0.5μm  (分割数:1/20設定時)
位置決め精度 15μm 25μm 30μm
繰返し位置決め精度 ±1μm
バックラッシュ 1μm
ロストモーション 5μm
真直度(水平・垂直) 10μm
平行度A 15μm 20μm 20μm
最大移動速度 30㎜/sec
耐荷重 15kg
自重 92kg 97kg 107kg
レーザ変位センサ部
測定分解能 0.01μm*1
繰り返し精度 0.01μm*1
測定基準距離 10㎜*1
測定範囲 ±1㎜*1
センサヘッド位置調整 マイクロメータヘッド付手動ステージ
*1 システムに搭載可能なレーザー変位計単体の精度例です。
  実際の精度はレーザ変位計の種類、測定対象物、要求仕様等により異なります。
コントローラ部
型式 CP-700
制御軸数 2軸
最大駆動速度 4Mpps(高精度補間時:500kpps)
最小駆動速度 1pps
加減速時間 0~65,535msec
分割数(CP-D7使用時) 1~250分割 16段階切替
インタフェイス USB(ver1.1)
入力電圧/消費電流 DC21.6~26.4V(DC24V±10%)/0.5A
最大消費電力 250VA(オプションACアダプタAD-100N使用時)
サイズ/自重 155×180×60(H)㎜ / 1300g
ソフトウェア部
型式 WAP
対応機器(自動ステージ) 当社自動ステージシステム、コントローラ
対応機器(計測機器) 汎用RS232C計測機器
RS232C通信規格に準拠したインタフェイスを持つ計測器
アスキーコード(文字列)の計測コマンドの送信により計測値を返信する計測器
計測方法 <ポイント計測>
ウェハサイズに合わせた任意の位置5点、9点、17点から選択して測定を行います。
データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。
Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、
TV5の結果を表示します。
<領域測定>
ウェハサイズに合わせた格子状の位置5mmピッチ、10mmピッチから選択して
測定を行います
データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。
Excelに収集された結果からは厚みの最大値、最小値、平均値、交差判定、
TTV(参考値)、反りの結果を表示します。
<カスタム測定>
お客様にてExcelファイルで作成しました座標指示プログラム、
及び測定結果を登録しまして測定を行います。
データはリアルタイムにExcelへ収集またはCSV形式で保存します。
対応するOS

こちらをご参照ください。

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